瑞士 VAT 06.3 插件式双阀真空隔离阀

产品介绍

VAT 06.3 TWINVAT 属于大型真空传输插件阀，采用双阀一体化 TWIN 结构设计，专为大腔体真空设备物料传输开发，集成两组独立阀板驱动单元，兼顾高真空密封与快速晶圆 / 工件传输。具备高循环寿命、低颗粒析出，适配严苛半导体真空工艺，可实现隔离、传输双重功能，模块化插件结构便于设备集成与现场维护。

产品参数

• 阀体类型：TWINVAT 双插件式大型传输阀
• 公称通径：适配大口径腔体，多规格法兰可选
• 真空等级：高真空‑超高真空
• 驱动方式：气动驱动，双阀独立执行机构
• 泄露率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
• 工作温度：‑20℃~+120℃
• 循环寿命：百万次级别
• 安装形式：插件嵌入式集成安装
• 控制信号：位置反馈、开关信号输出

产品特点

1. TWIN 双阀集成插件式结构，单本体实现两道真空隔离，节省设备安装空间
2. 低粒子析出设计，阀板密封优化，减少工艺腔污染
3. 双阀可独立动作，支持隔离腔室、工件传输两种工况
4. 模块化插件单元，拆装便捷，便于整机集成与检修更换
5. 带阀位状态反馈，便于接入设备 PLC 自动化联锁控制

对比优势

1. 对比两台独立单阀：一体化 TWIN 结构，占用空间更小，布线简化，降低整机成本
2. 插件式设计，无需拆分腔体即可完成阀组件更换，缩短停机维护时间
3. 双阀协同隔离，腔室隔离密封性优于普通单传输阀，减少真空倒灌风险
4. 长寿命驱动组件，适合 24h 连续量产工况，故障率低
5. 适配半导体严苛洁净要求，颗粒控制优于普通国产传输阀

运用场景

• 半导体设备真空腔工件传输、集群设备真空锁腔
• PVD、CVD、刻蚀设备腔体之间物料真空传递
• 大型真空镀膜设备高低真空腔隔离传输
• 科研大型超高真空系统样品换样腔体
• 显示面板、光伏电池片真空制程设备