瑞士 VAT 06.6 大型闸门传输阀 SOLVAT

产品介绍

VAT 06.6 为闸门式大型真空传输阀，适配大腔体真空系统，支持插件式模块化结构，兼顾高真空密封与大流量物料 / 基板传输。阀板驱动稳定可靠，可搭配 SOLVAT 控制系统，实现远程启闭、状态反馈、联锁保护，多用于半导体、镀膜设备腔体间隔断传输，保障真空环境不被破坏。

产品参数

• 阀体型式：闸门式大型传输阀，插件模块化结构
• 公称通径：大口径规格，支持多尺寸腔体对接
• 真空等级：高真空 / 超高真空工况
• 驱动方式：气动驱动，可选伺服驱动
• 控制配套：适配 SOLVAT 阀组控制系统
• 密封形式：金属密封 / 弹性密封可选
• 工作温度：‑20℃～+120℃
• 信号输出：位置反馈、故障报警、联锁信号

产品特点

1. 闸门式大开口设计，满足大型工件、基板跨腔体传输
2. 插件式模块化，拆装维护便捷，无需整体拆解腔体
3. 兼容 SOLVAT 控制系统，集成状态监测、联锁保护功能
4. 阀板运动平稳，冲击小，降低颗粒产生，适配洁净工艺
5. 多重密封选型，可满足高、超高真空不同工况需求

对比优势

1. 对比普通闸阀：通口更大，专为腔体传输工序优化，不是单纯隔断，兼顾物料通行
2. 插件式结构，现场维护工时远低于传统一体式大型真空阀
3. SOLVAT 系统集成度高，可接入上位机，减少外接控制组件
4. 颗粒控制优异，适合半导体精密工艺，密封寿命长，泄漏率低
5. 抗疲劳驱动机构，高频次启闭工况下稳定性优于同类竞品

运用场景

1. 半导体设备多腔体互联，晶圆基板真空传输通道
2. PVD、CVD 镀膜生产线腔体隔断与工件转运
3. 大型真空热处理、等离子处理设备腔体隔离
4. 科研大型真空实验平台腔体之间通路控制
5. 光伏、显示面板真空制程大口径通路切换