瑞士 VAT 06.8 FLAPVAT 大型闸门传输阀

产品介绍

VAT 06.8 属于 FLAPVAT 系列大型闸门式真空传输阀，专为大腔体超高真空工况设计，采用插件式模块化结构，可实现大口径通道快速通断。具备优异密封性能与抗颗粒污染能力，驱动运行稳定，适配半导体、镀膜设备腔体传输，支持自动化控制，满足高洁净、高可靠性工业真空制程使用需求。

产品参数

• 阀体形式：闸门型 FLAPVAT 插件式传输阀
• 适用真空等级：超高真空 UHV
• 通径规格：大口径定制，主流 DN400‑DN1200
• 驱动方式：气动驱动，可选电机驱动
• 密封形式：金属密封
• 工作温度：‑20℃～150℃
• 泄露率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s
• 控制接口：现场总线 / 开关量信号
• 安装方式：插件嵌入式腔体安装

产品特点

1. FLAPVAT 闸门插件一体化设计，便于整机拆装维护，无需拆解腔体
2. 金属硬密封，耐受烘烤，适配超高真空洁净工艺环境
3. 大口径大通流，降低气流阻力，适合腔体物料传输通道
4. 阀板抗粉尘颗粒，减少制程碎屑造成密封损伤
5. 模块化驱动单元，可兼容设备自动化联锁控制

对比优势

1. 对比普通大口径闸阀：插件式结构，设备现场检修更换效率大幅提升，停机时间短
2. 橡胶密封大阀：金属密封支持高温烘烤，无释气，满足 UHV 超高真空要求
3. 同类进口大传输阀：VAT 传动结构磨损低，长周期运行，泄露稳定性更好；阀板抗颗粒能力强，减少密封故障频次

运用场景

1. 半导体设备大型腔体晶圆传输通道
2. 大型镀膜设备、卷绕镀膜机腔体隔离传输
3. 太阳能电池、显示面板真空生产线
4. 科研大型超高真空实验装置
5. 工业热处理、表面处理大型真空设备腔体隔断