瑞士 VAT 92.0 高真空管路歧管

产品介绍

VAT 92.0 真空阀歧管为集成式真空多路阀组，将多组真空阀、流道、接口一体化集成，适配高真空工艺管路系统。采用模块化歧管本体，减少管路接头，降低泄漏风险，支持气动驱动，可实现多路真空通路切换与通断控制，广泛适配半导体、镀膜设备，提升真空系统集成度，缩减现场管路装配工作量。

产品参数

• 适用真空等级：高真空
• 驱动方式：气动驱动
• 阀体材质：不锈钢
• 密封材质：氟橡胶 / 金属密封可选
• 接口规格：多通路集成法兰接口
• 工作温度：‑20℃~+120℃
• 漏率：≤1×10⁻⁷ Pa・m³/s
• 控制气源压力：0.4‑0.6 MPa
• 通路配置：多路集成定制化可选
• 安装形式：机架集成式安装

产品特点

1. 歧管一体化集成设计，多路阀整合一体，省去大量外接管件
2. 本体精密流道加工，流阻均匀，真空响应速度快
3. 法兰密封结构，泄漏率低，真空稳定性优异
4. 模块化结构，支持通路配置按需选配，维护拆装便捷
5. 气动执行机构，适配工业自动化控制信号

对比优势

1. 对比分散单阀外接管路：接头数量大幅减少，降低泄漏隐患，缩短安装调试周期
2. 一体流道加工，管路压降更小，多路介质 / 真空分配一致性更好
3. VAT 原厂阀件与歧管本体匹配度高，兼容性优于第三方拼装歧管
4. 结构紧凑，节省设备机柜内部安装空间
5. 整套阀组统一性能标定，系统可靠性高于现场拼装方案

运用场景

• 半导体设备真空气路分配单元
• PVD、CVD 镀膜设备多路真空切换系统
• 科研超高真空实验平台气路集成
• 工业真空热处理设备气路歧管系统
• 离子刻蚀、等离子工艺设备真空管路模块