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FS 系列为叶轮(羽根車)霍尔检测式液体流量传感器,靠流体推动内置叶轮旋转,叶轮带磁铁,霍尔元件拾取转速信号换算流量;用于半导体设备冷却水、纯水、药液回路小流量监测,和前面 KSL‑80L/160L 涡街流量计同品牌;FS 适合中小流量,KSL 适合更大流量。
原理:流体推动叶轮旋转 → 磁铁随叶轮转动 → 霍尔检测磁脉冲 → 换算瞬时 / 累积流量,可选测温功能株式会社リ...。
可选规格:高温版 0‑150℃、药液无金属溶出版(氟树脂 + 陶瓷接液)株式会社リ...
B:BsBM(镀镍黄铜)→普通冷却水
S:SCS14(SUS316)→纯水、一般腐蚀液体
J:氟树脂 + 陶瓷 →药液、严格控金属析出,半导体清洗液回路
供电:DC12V / DC24V
输出:
脉冲输出:集电极开路
模拟:DC0‑10V / DC1‑5V / 4‑20mA
报警输出:集电极开路 / 继电器(FS‑AR),流量上下限、断流报警
安装:流向自由,任意姿态(水平、垂直),几乎无需直管段,可直接安装在歧管底座集成多路监测株式会社リ...
半导体、面板设备多路冷却水路,每一路独立流量监控
清洗机纯水、化学药液回路
激光设备、精密模具冷却小支路
歧管集成多台 FS,集中监测多路水路,节省空间
内部有叶轮,严禁大颗粒杂质;过滤器建议前置;气泡会造成测量跳动
不要用于粘度很高的液体
FS‑N 只有脉冲输出,PLC 需要自己做累积运算;需要模拟读数优先 FS‑SC/FS‑S
高温 / 药液工况务必选对应接液材质,普通黄铜版不可用于纯水 / 药液