HORIBA 堀场 SEC‑E541 质量流量控制器

一、 产品定位

二、 核心技术和原理

采用热式毛细管质量流量传感原理，依据气体热传导效应直接检测气体质量流量，不受温度、压力波动带来体积流量干扰； 内置高速电磁调节阀 + 闭环控制电路：传感器采集实际流量信号，与设定值对比，实时驱动电磁阀开度，完成闭环流量调节； 接气部件为 SUS316L 不锈钢，支持惰性、部分腐蚀性工艺气体；模拟信号输入输出，适配传统设备控制系统。

三、 产品优势与特点

1. 中大流量区间稳定控制，全量程响应≤1.5s；精度：＞35% FS 为 ±1.0% SP，≤35% FS 为 ±0.35% FS，线性度 ±0.5% FS，重复性 ±0.5% FS。
2. 结构成熟可靠，抗工况扰动，现场维护简单，备件供应链充足。
3. *高工作压力 450kPa (G)，漏率低，适配半导体洁净工艺要求，接头支持 VCR、Swagelok 多种规格可选。
4. 兼容 N₂、Ar、O₂、CF₄等多种常用工艺气体，适配传统模拟控制系统，老设备改造替换兼容性强。
5. 性价比突出，对比** Z 系列，满足成熟制程工艺需求，控制采购成本。

四、 主要应用场景

• 半导体：PVD、CVD、等离子清洗、刻蚀、离子注入成熟产线工艺气体控制
• 光伏、显示面板镀膜设备气体配比
• MEMS、功率半导体研发及中试产线
• 科研实验设备、气体混合配比系统
• 工业镀膜、特种材料气相沉积设备 OEM 配套