HORIBA 堀场 SEF‑E541 质量流量计

一、 产品定位

二、 核心技术和原理

采用热式毛细管流量传感原理；气体分流经过传感毛细管，气体流动带走传感器热量，检测铂电阻温度差信号，换算出气体质量流量，不受温度压力波动带来体积流量误差；输出流量信号给到上位系统，本身不带调节阀门，由外部阀门完成流量调节；模拟信号 0.1‑5VDC 信号输出，适配工业设备控制系统。

三、 产品优势与特点

• 热式传感，直接输出质量流量，排除温度、压力干扰，测量重复性好；
• SEF 版本无内置电磁阀，压降小，适合只需要监测不需要本机控阀的气路；
• 流路为不锈钢材质，适配惰性、部分工艺气体；接口 3/8 卡套接头，安装便捷；
• 结构成熟稳定，市面保有量大，备件替换兼容性高，维护成本低；
• 体积紧凑，可机柜、气盘集成安装；满足半导体设备通用洁净要求，漏率低。

四、 主要应用场景

• 半导体设备气路流量实时监测：PVD、CVD、等离子清洗设备气体回路流量采集；
• 晶圆、MEMS、化合物半导体产线，做流量比对、工艺数据记录；
• 气体配比系统、混合供气装置流量计量；
• 科研镀膜、实验反应腔体进气流量监测；
• 旧设备改造，替换老旧 HORIBA SEF‑E 系列流量计；
• 工业化工气体配比、惰性气体供气监测。