产品定位

GH 系列是日本 MIYUKI 美幸辉主打高真空二段可调式气动闸阀，面向半导体、镀膜、新能源、**科研装备领域的中**原装进口真空隔断部件。主打大口径、抗背压密封、慢抽限流功能，兼顾量产设备与实验室成套真空系统；在晶圆工艺、PVD/CVD 镀膜设备真空管路领域具备较高品牌认可度，很多原厂设备指定配套阀件，客户存在较强品牌依赖，替代门槛高，适配 JIS、ISO、CF、KF 多种法兰标准，覆盖粗真空至高真空全工况，是大尺寸真空腔体管路隔离主流选型。

核心技术和原理

1. 双缸二段驱动机构：主气缸 + 副调节气缸组合结构，实现全关‑小开度慢抽‑全开快抽三工位，单阀完成主阀 + 旁路阀功能，实现慢抽、慢破空，抑制扬尘冲料，保护腔体内工件。依靠 0.4‑0.6MPa 洁净压缩空气驱动，关闭瞬间推力倍增，提供充足密封压紧力；气缸内置气垫缓冲结构，降低闸板撞击震动。
2. 等间距滚珠球面压紧密封技术：阀板多点均匀受力，正向、反向背压工况均可维持稳定密封，背压冲击下漏率不衰减，壳体漏率≤1×10⁻¹¹ Pa・m³/s，阀座密封漏率≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s。
3. 低放气真空阀体工艺：SUS304 不锈钢，内腔镜面电解抛光，真空钎焊一体成型，无内部积气死角，百级洁净室完成装配，整机氦检出厂，降低腔体释气污染风险。
4. 阀位磁感应反馈原理：内置磁性感应开关，输出全开、中间限位、全关信号，直接对接 PLC，实现设备联锁自动化控制；可选单作用弹簧复位气缸，断气**关闭，提升设备**等级。

产品优势与特点

1. 双向抗背压密封性能优异，反向压差工况密封不失效，适配腔体压力波动大的工艺场景，美幸辉 GH 系列标志性优势。
2. 二段慢抽功能，一台阀替代主阀 + 旁路阀，简化真空管路，避免快速抽气扬尘损伤工件、薄膜基板，镀膜、半导体工艺尤为关键。
3. 紧凑侧向气缸布局，整机长度短，支持水平、垂直、斜向任意姿态安装，适配设备狭小机箱空间。
4. 低放气洁净等级高，不锈钢钎焊阀体，无缝隙死角，满足 SEMI 洁净工艺规范；密封可选 FKM 氟橡胶、Kalrez 全氟醚密封圈，适配等离子、弱腐蚀工艺气体。
5. 缓冲启闭结构，气垫缓冲降低冲击噪音，减少密封件磨损，延长密封圈使用寿命。
6. 法兰规格齐全，兼容 JIS‑J、ISO‑I、CF‑C、KF‑K 法兰，通径覆盖 40A‑500A，适配各类真空腔体管路改造与新机配套。
7. 自动化适配性强，阀位信号可接入工控系统，可选弹簧故障**复位，满足产线**联锁需求。

主要应用场景

1. 半导体行业：晶圆刻蚀设备、PVD/CVD 沉积设备、Load‑Lock 装载锁、真空传输腔、工艺腔体主抽气隔离阀、半导体中试设备真空管路隔断。
2. 光学与光伏镀膜：光学镜片镀膜、光伏薄膜沉积设备、OLED/LCD 面板真空主管路、连续式镀膜生产线。
3. 新能源行业：锂电材料真空热处理、真空脱气腔体、电池材料烧结真空炉。
4. 科研实验室：高校研究院高真空实验装置、材料物**相沉积实验平台、真空分析仪器。
5. 精细化工 / 工业化工：真空反应釜真空隔断、物料真空输送系统、腐蚀性气体真空处理管路。
6. 重工装备：大型工业真空炉、钎焊炉、大型成套真空机组。
7. 其它：航天配套真空模拟装置、真空冶金设备。