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MIYUKI美幸辉 GR系列高真空手动闸阀
产品型号:GR-65
产品简介:

MIYUKI 美幸辉 GR 系列为**日系原装高真空手动闸阀(手动插板阀)**,定位中**精密真空管路手动隔断元件,主打无气源工况、低启闭频次的腔体 / 管路隔离点位,是日系半导体、镀膜设备原厂配套主力阀件,在日系真空设备改造、科研真空装置领域具备较强品牌依赖性,对标同系列 G/GH 气动闸阀,适配常压至高真空 10⁻⁶Pa 工况,兼顾洁净制程与工业通用真空场景,覆盖 DN40‑DN400 全通径

详细介绍

MIYUKI美幸辉 GR系列高真空手动闸阀

产品定位

MIYUKI 美幸辉 GR 系列为日系原装高真空手动闸阀(手动插板阀),定位中**精密真空管路手动隔断元件,主打无气源工况、低启闭频次的腔体 / 管路隔离点位,是日系半导体、镀膜设备原厂配套主力阀件,在日系真空设备改造、科研真空装置领域具备较强品牌依赖性,对标同系列 G/GH 气动闸阀,适配常压至高真空 10⁻⁶Pa 工况,兼顾洁净制程与工业通用真空场景,覆盖 DN40‑DN400 全通径,兼容 JIS、ISO、CF、KF 多类真空法兰标准。多用于设备检修隔离、旁路切断,无需压缩空气、无需供电,弥补气动闸阀无法部署的现场工况,是半导体、光学光伏、科研实验室、新能源真空系统的关键手动真空阀件。

核心技术和原理

  1. 手轮回转驱动闸板启闭原理:依靠手轮旋转传动机构带动闸板直线升降运动,闸板上升管路导通,闸板下落压紧阀座实现管路切断,纯机械手动结构,无需气源电源输入。
  2. 等间距滚珠压紧密封技术:阀瓣采用均匀分布滚珠施压密封机构,实现双向承压,抗背压逆压密封,即使腔体出现反向压差,依旧维持极低泄漏率,解决普通闸阀反向压力密封失效痛点。
  3. 真空钎焊一体成型阀体工艺:SUS304 不锈钢研磨板材真空钎焊,内腔无死角缝隙,电解抛光处理,降低腔体放气率;整机洁净室装配、逐台氦质谱检漏,壳体泄漏≤1×10⁻¹¹Pa・m³/s,阀座泄漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s。
  4. 侧置紧凑型执行机构结构:执行机构侧向布置,压缩阀体整体厚度,安装空间占用小;可选配微动开关,输出全开、全关阀位信号,可对接外部 PLC 做状态监测反馈。
  5. 轴封密封系统:标配 FKM 氟橡胶 O 型圈轴封,可选升级全氟醚密封,适配部分弱腐蚀工艺气体,满足化工、精细化工真空工况使用需求。

产品优势与特点

  1. 纯手动无需气源供电:使用手轮去操作顺滑省力,大口径阀门操作力矩小,适配气管、电源不便布设的真空点位,设备检修隔离场景使用便捷。
  2. 优异抗背压双向密封:滚珠压紧密封结构,正反压差条件均可稳定密封,保压性能**,降低腔体泄压、泄漏风险,日系设备改造场景品牌替代性弱,用户依赖性强。
  3. 低放气高洁净等级:真空钎焊无死角内腔,洁净室组装检漏,低释气、低析出,适配半导体镀膜、刻蚀等高洁净工艺制程,减少工艺腔体污染风险。
  4. 多法兰规格全覆盖:支持 JIS、ISO、CF 刀口、KF 快拆法兰,通径 DN40‑DN400,**匹配大量日系进口真空设备,设备替换改造通用性强。
  5. 超薄紧凑阀体:侧置驱动设计,安装空间要求低,安装姿态无限制,狭小真空机组、管式炉腔体均可安装布置。
  6. 可选阀位信号反馈:微动开关选配,输出开关点位信号,实现手动阀门状态可监测,对接设备控制系统。
  7. 可靠耐用,适配多元介质:SUS304 阀体,FKM 密封,兼容空气、惰性气体、部分弱腐蚀工艺气体,覆盖科研、精细化工、新能源多类工况。
  8. 原装日系品质,行业沉淀深厚:美幸辉真空阀门在半导体、光学镀膜日系产线长期配套,备件替换场景具备品牌**性,大量进口设备指定配套阀件。

主要应用场景

  1. 半导体行业:PVD 溅射、CVD 沉积、刻蚀设备真空管路手动隔断;真空腔体旁路隔离;分子泵、真空机组检修切断;晶圆制程设备维护隔离;日系半导体设备备件替换改造。
  2. 镀膜设备行业:光学蒸发镀膜、溅射镀膜设备管路隔离;ITO 膜、AR 膜、光学镜片镀膜机腔体检修阀;显示面板、OLED 真空制程管路切断。
  3. 科研 & 实验室:高真空实验腔体、真空管式炉、空间模拟装置、氦检系统;高校研究院真空实验装置;科研真空设备手动隔离阀件。
  4. 光学光伏行业:光伏电池镀膜产线;光学元器件真空加工;太阳能电池真空工艺管路隔断。
  5. 新能源行业:锂电真空烘烤炉、真空注液脱泡设备;固态电池烧结真空炉管路隔离;各类电池材料真空处理设备。
  6. 精细化工、工业化工:化工真空反应釜旁路隔断;真空蒸馏、真空脱气装置手动切断;低腐蚀介质真空管路系统。
  7. 重机械、热处理装备:真空钎焊炉、真空回火退火炉;工业真空热处理设备检修隔离点位;大型真空机组管路阀件。
  8. 真空通用配套:真空泵组隔离阀、真空腔体维护隔断;进口日系真空设备备件替换改造项目。