MKS美国 727A13TCE2FB 加热型绝压电容薄膜真空计

产品定位

MKS 727A 是美国 MKS Instruments 公司 Baratron® 系列中体积*小的加热型绝压电容薄膜真空计（电容式薄膜压力传感器），定位为半导体及薄膜工业工艺腔室内的 "真空压力**测量与控制核心器件"。适合新设备配套和旧设备改造，是工艺现场对真空度有高精度、抗腐蚀、长期稳定要求的标配级传感器。

核心技术与原理

• 测量原理：采用电容薄膜传感技术。被测气体进入传感器腔体，推动弹性金属膜片产生微位移，膜片与对面固定陶瓷电极构成可变电容，电容变化与压力成正比，经模拟电路转换为 0–10 VDC 标准信号输出。
• 绝压测量：膜片背面为密封参考真空，测得的是绝压，测量结果与气体成分无关，混合气、腐蚀气、可凝气均不受影响。
• 45℃ 恒温加热：防止工艺气体副产物在膜片表面冷凝沉积，避免零点漂移，保证长期稳定性。
• 全 Inconel 镍基合金湿件：耐腐蚀性强，湿面光洁度优于 10 Ra。
• 可靠性设计：过压耐受 45 psia 或 2 倍满量程，*小爆破压力为 10 倍量程或 90 psi；响应时间 <75 ms；模拟电子线路 CE 认证。

产品优势与特点

1. 目前*小的加热型 Baratron，可轻松装入工艺腔体内部甚至气柜。
2. 加热防沉积，长期稳定、漂移小，适合副产物多的工艺。
3. 典型精度 0.50% of Reading（按读数百分比计，低压段测量更准）。
4. 测量与气体组分无关，兼容多种工艺气体。
5. 量程覆盖 1–1000 Torr 共 9 档（1/2/10/30/50/100/200/500/1000 Torr）。
6. 0–10 VDC 模拟输出，兼容绝大多数控制系统，改造接入方便。
7. 接口灵活：½″ 管、8 VCR、8 VCO、NW16-KF、1.33″ CF 可选，9 针 / 15 针 D-sub 电连接器。
8. 供电方式灵活：±15 VDC 或 +24 VDC。

主要应用场景

• 半导体前驱体气体输送、刻蚀 / 沉积工艺腔室压力监控（CVD、PVD、ALD、等离子刻蚀机）
• 平板显示（面板）制造设备
• 光存储、磁存储制造设备
• 光伏电池片镀膜产线（PECVD、磁控溅射等）
• 各类真空镀膜（蒸发镀膜、溅射镀膜、光学镀膜）
• 先进材料热处理、真空炉 / 热处理系统
• 生物制药工艺系统（冻干等）
• 精细化工、化工装置真空工艺与真空度监控
• 科研实验室真空系统