MKS美国 728A13TGA2FA 加热型绝压电容薄膜真空计

定位

MKS Instruments 旗下 Baratron 系列里体积*小的加热型（100°C）绝压电容薄膜真空计，量程 1–1000 Torr，用于真空工艺腔体的高精度、高重复性压力测量。它属于半导体等**真空设备中的 "设计指定（spec-in）" 部件 —— 设备出厂就锁定了这个型号。

核心技术与原理

采用 MKS 招牌的 Baratron 电容薄膜技术。被测气体经进气管作用在薄金属膜片上，膜片与参考腔内的固定电极构成一个电容；压力变化使膜片微变形、与电极间距改变，电容随之变化，再转换为 0–10 VDC 的线性电信号。关键点是测量结果只取决于膜片的物理形变，与气体种类无关—— 不管腔体里是刻蚀用的腐蚀性气体还是 CVD 前驱体，读数都不受影响，这是它远优于热传导类真空计（皮拉尼规）的根本原因。内部还做了 100°C 恒温加热，防止工艺副产物在膜片上凝结沉积导致漂移。

主要应用场景

半导体晶圆制造（刻蚀、CVD、PVD、薄膜沉积的工艺腔压力测量，高纯气柜与气体分配系统监测）、各类真空镀膜设备（磁控溅射、蒸发镀膜、离子镀）、光伏与光学（PECVD、太阳能电池及光学镀膜）、新能源（锂电真空干燥等真空工艺）、科研与实验室（真空实验、气体激光器、真空蒸馏、冻干）、工业化工与精细化工（真空蒸馏、真空干燥、真空反应釜）、工业炉窑（真空热处理炉、钎焊炉）等。