MKS美国 AA04A 通用型电容薄膜真空计

定位

MKS 的 AA04A 是 Baratron® 家族的通用型绝压电容薄膜压力变送器（未加热型），量程覆盖 1–25000 Torr（真空到约 3.3 个大气压），用 4–20 mA 工业标准信号输出，是半导体工艺设备、真空工业和研究实验室里 "压力测量基准级" 的进口核心元器件，也是设备替换和备件市场的高粘性标品。

核心技术与原理

采用 MKS 看家的电容薄膜（Capacitance Manometer）原理：张紧的金属膜片一侧接被测气体压力，另一侧为真空基准（绝压），膜片因压差产生微位移，与固定电极构成变间距电容，经检测电路转换为与压力成比例的 4–20 mA 电信号。它直接测 "真实压力"，不依赖气体种类和成分（区别于热导 / 电离式真空计），配合双电极设计 + 高低温补偿，保证测量稳定性和重复性；敏感元件与气体接触面为全焊接 Inconel 合金，耐腐蚀、抗工艺气体污染。

• 精度 ±0.5% of Reading（≥10 Torr 档可选 ±0.3%），读数百分比精度，量程内误差更均匀
• 量程多档：1 / 10 / 100 / 1000 / 5000 / 10000 / 15000 / 20000 / 25000 Torr
• 两线制 4–20 mA 输出，24–32 VDC 供电，可直接接入 PLC/DCS，抗干扰、长距离传输
• 过载保护 120% 满量程（或 35 psia），不易损坏
• 工作温度 0–100°C，零漂 ±200 ppm/°C、跨度温漂 ±400 ppm/°C，温漂控制好
• 接口齐全：VCR / VCO / KF16 / KF25 / CF（1.33″、2.75″），适配洁净管路与超高真空体系
• 惰性气体体积小（7.0 cc），响应快；CE 认证
• MKS 在电容薄膜真空计领域被公认为技术***，六十余年气体测量经验背书，半导体行业事实标准，客户替换 / 复购依赖性强