MKS美国 226B11TCDCDFB2A1 差压式电容薄膜真空计

• 226B 是 MKS Baratron® 电容薄膜真空计的差压版本，通用型差压真空 / 压力变送器，量程 0.2～1000 Torr（0.027～133 kPa），环境温度工作（0–50℃）。
• 定位介于 "工业级过程控制" 与 "半导体级洁净测量" 之间：既够精密（精度*高 0.30%）、又够皮实（耐腐蚀、抗干扰），是 226A 的升级替代型号，可无缝替换早期 Baratron 差压计。
• 半导体 / 真空行业里 "品牌指定率" 很高的差压测量标准件——MKS 在真空压力测量领域是公认的标杆品牌，Baratron 本身就是品类代名词。

• 核心是电容薄膜传感：测量 "暴露于工艺气体的金属膜片" 与 "固定电极盘" 之间的电容变化来反推压力，不测量气体本身的任何属性。
• 因此测量结果与气体组分无关，不同气体（N₂、Ar、腐蚀性工艺气、混合气）都无需做气体修正系数。
• 传感器测量侧为全焊接 Inconel® 镍合金，参考侧含 Inconel、陶瓷、钯、不锈钢、玻璃，全程无汞、无硅油、无烃类液体。
• 输出为与压力线性的高电平模拟信号：0–1V / 0–5V / 0–10V / 4–20 mA 四种，可选单向或双向校准；供电 ±15 VDC 或 +24 VDC。

• 气体组分无关：省去气体修正，换工艺气体不用重新标定，这是它对标其他压力计的*大卖点。
• 高精度高重复性：标准 0.50% FS，可选 0.30% FS 或 0.30% Reading（单向）；分辨率达 0.01% FS，能量出极小压差和微小流量。
• 耐腐蚀耐过压：Inconel 全焊接结构，过压耐受 120% FS 或 20 psi，高爆破压力，适应腐蚀性工艺气，系统更**。
• 干净无污染：无汞无油，符合半导体洁净室要求。
• 抗干扰：工业级加固外壳，高抗 RF/EMI，SEMI S2-0706、CE 认证。
• 配置灵活：12 种接口（VCR、NW-KF、VCO、Conflat、NPT、管接头等）、多种输出 / 供电 / 连接器可选，适配面广。