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Sensirion 瑞士 液体流量传感器进口
产品型号:SLF3S‑0600D
产品简介:

属于 Sensirion 新一代 SLF3x 系列歧管安装式小流量液体流量器件,面向 OEM 集成场景,适配歧管底座安装,降低整机装配成本与装配复杂度,针对2ml/min 以内小液体流量监测,适配仪器设备内部流体回路集成,兼顾性能与成本表现

详细介绍

Sensirion 瑞士 液体流量传感器进口


产品定位

属于 Sensirion 新一代 SLF3x 系列歧管安装式小流量液体流量器件,面向 OEM 集成场景,适配歧管底座安装,降低整机装配成本与装配复杂度,针对2ml/min 以内小液体流量监测,适配仪器设备内部流体回路集成,兼顾性能与成本表现。

核心技术和原理

  • 核心技术:CMOSens® 传感技术,芯片集成信号线性化、温度补偿、自检运算单元,传感与信号处理集成于单颗芯片内部。
  • 测量原理:热式流量检测原理,芯片布置加热元件与测温元件,透过流道管壁感知流体流动带来的热场偏移,实现介质隔离式流量采集;流道内部无运动构件,传感芯片不直接接触被测液体,支持双向流量检测。

产品参数

  • 满量程流速 (H₂O):2 ml/min
  • 准确度 (H₂O):5 %
  • 重复性 (H₂O):0.5 %
  • 满量程流速 (IPA):2 ml/min
  • 准确度 (IPA):10 %
  • 重复性 (IPA):0.5 %
  • *大工作压力:12 bar
  • 流体连接器端口:Downmount(歧管下装接口)
  • 通信接口:I²C、RS485
  • 电源电压:3.2‑3.8 V
  • *大供应电流:6 mA
  • 响应时间:<20 ms

产品优势与特点

  • 歧管 Downmount 下装结构,便于多传感器模组化装配,减少管路接头,简化系统组装流程。
  • 直通无阻流流道,无运动部件;润湿采用惰性材质,耐化学介质侵蚀,介质兼容范围广。
  • 出厂完成标定,自带温度补偿;可双向流量检测;具备管路堵塞、气泡侵入等工况识别能力。
  • 数字 I²C、RS485 双接口,便于工控设备、仪器主控对接;毫秒级响应速度。
  • 尺寸紧凑,适合设备内部狭小空间嵌入,适配大批量 OEM 整机集成开发。

主要应用场景


半导体工艺流体回路监控、镀膜设备药液供给监测、刻蚀机微量试剂输送、CVD/PVD 附属液路监测、精细化工微量试剂配比、新能源实验液流检测、科研实验室微量流体分析、光学光伏工艺药剂供给、分析仪器、生命科学设备、工业自动化流体控制、理化实验平台、微流控系统。