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Sensirion 瑞士 液体流量传感器进口
产品型号:SLF3S-1300D
产品简介:

属于 Sensirion SLF3x 新一代歧管安装式液体流量传感器,面向 OEM 集成场景,歧管下装结构降低整机装配成本与装配复杂度,适配中小体积设备内部流体回路,针对 40 ml/min 以内双向液体流量监测,兼顾性能与整机集成便利性,适配批量设备集成开发

详细介绍

Sensirion 瑞士 液体流量传感器进口


产品定位

属于 Sensirion SLF3x 新一代歧管安装式液体流量传感器,面向 OEM 集成场景,歧管下装结构降低整机装配成本与装配复杂度,适配中小体积设备内部流体回路,针对 40 ml/min 以内双向液体流量监测,兼顾性能与整机集成便利性,适配批量设备集成开发。

核心技术和原理

1. 核心技术:CMOSens® 微传感芯片技术,传感单元、信号调理、温度补偿、出厂校准全部集成在单颗 CMOS 芯片内部,直接输出处理完成的数字信号。

2. 测量原理:热式质量流量测量。流道内置加热与测温元件;流体静止时温度场呈对称分布;流体流动会将热量带向流道下游,上下游形成温度差值;温差大小和液体质量流量存在对应关系,同时可判别流体流动方向;传感芯片采集温差信号运算换算出流量数值;流道无运动机械构件,传感芯片不直接接触被测液体介质。


产品参数

  • 满量程流速 (H₂O):40 ml/min
  • 准确度 (H₂O):5 %
  • 重复性 (H₂O):0.5 %
  • 满量程流速 (IPA):40 ml/min
  • 准确度 (IPA):10 %
  • 重复性 (IPA):0.5 %
  • *大工作压力:12 bar
  • 流体连接器端口:Downmount(歧管下装)
  • 通信接口:I²C、RS485
  • 电源电压:3.2‑3.8 V
  • *大供应电流:6 mA
  • 响应时间:<20 ms
  • 测量模式:双向流量检测
  • 流道结构:直通无阻碍流道,无运动部件
  • 润湿材质:惰性耐化学材质

产品优势与特点

1. 歧管下装安装形式,简化整机流体装配,缩减组装工序;

2. 双向流量检测,可识别流体流向;
3. 毫秒级快速响应,可捕捉动态流量波动;
4. 直通畅通流道,不存在机械活动部件,降低流道堵塞概率;
5. 润湿部分采用惰性材质,对多种化学介质具备耐受能力;
6. 出厂完成校准与温度补偿,整机端无需二次标定;
7. 具备管线进气、流道堵塞等工况的故障识别上报能力;
8. 数字 I²C/RS485 双接口,便于接入工控、嵌入式控制系统;
9. 体积小巧,适合设备内部狭小空间集成。


主要应用场景

半导体工艺流体回路监控、镀膜设备药液供给监测、刻蚀机微量试剂输送、CVD/PVD 附属液路监测、精细化工微量试剂配比、新能源实验液流检测、科研实验室微量流体分析、光学光伏工艺药剂供给、分析仪器、生命科学设备、工业自动化流体控制、理化实验平台、微流控系统。