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Sensirion 瑞士 紧凑型液体流量传感器进口
产品型号:LG16-0150D
产品简介:

面向 OEM 集成场景的微型超低流量液体流量传感单元,精简外壳结构,适配仪器、封闭流体系统内置集成,用于微流道下液体流量监测、闭环流体控制,适配批量设备配套开发

详细介绍

Sensirion 瑞士 紧凑型液体流量传感器进口


产品定位

面向 OEM 集成场景的微型超低流量液体流量传感单元,精简外壳结构,适配仪器、封闭流体系统内置集成,用于微流道下液体流量监测、闭环流体控制,适配批量设备配套开发。

核心技术和原理

采用CMOSens®热式微传感技术,传感芯片与信号处理电路集成在同一 CMOS 芯片;介质隔离式检测,流体流经直通玻璃毛细管,传感芯片不直接接触介质;依靠流体带走热量的热传导效应,完成双向流量信号采集转换,流道内部无阻挡结构

产品参数

  • 水满量程流速 (H₂O):7 µl/min
  • 水测量准确度 (H₂O):5 %
  • 水测量重复性 (H₂O):0.5 %
  • IPA 满量程流速:70 µl/min
  • IPA 测量准确度:20 %
  • IPA 测量重复性:1 %
  • *大工作压力:200 bar
  • 流体连接器端口:UNF 6‑40
  • 电气接口:Analog voltage、Analog current、I²C、RS485
  • 电源电压:4‑12 V
  • 平均供应电流:6.8 mA

产品优势与特点

  • 接液材质为玻璃、PEEK、含氟聚合物,耐化学腐蚀,适配多种腐蚀性试剂、有机溶剂;
  • 流道直通无障碍物,不易发生介质淤积;
  • 支持双向流量检测;
  • 出厂完整校准,输出标准化信号;
  • 响应速度快,可低至 40ms 以内;
  • 体积小巧,适合设备内部嵌入式 OEM 集成;
  • 支持数字、模拟多类型信号输出;
  • 可适配高压流体工况。

主要应用场景

半导体工艺微量药液供给监测、镀膜设备微量药剂输送监控、刻蚀配套微量流体回路、CVD/PVD 辅路液体给药监控、精细化工微量试剂配比、实验室微流控实验、光学光伏制程药液管控、新能源材料研发流体测试、分析仪器、微滴检测、气泡识别、科研流体闭环控制系统。