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Sensirion 瑞士 数字液体流量传感器进口
产品型号:LG16-0431D
产品简介:

属于面向 OEM 设备集成的紧凑型微流量液体传感器件,适配仪器、封闭流体系统内部嵌入使用,针对微升级超低液体流量检测场景,提供完整流量采集解决方案,支持水、碳氢类介质校准选择

详细介绍

Sensirion 瑞士 数字液体流量传感器进口


产品定位

属于面向 OEM 设备集成的紧凑型微流量液体传感器件,适配仪器、封闭流体系统内部嵌入使用,针对微升级超低液体流量检测场景,提供完整流量采集解决方案,支持水、碳氢类介质校准选择。

核心技术和原理

  • 核心技术:CMOSens® MEMS 传感技术,把热式传感单元、信号调理、线性化与温度补偿电路集成在单颗芯片上;流道为直通玻璃毛细管结构,传感芯片与被测流体介质相隔离,属于非侵入式热式质量流量检测,无流道内部阻挡结构。
  • 测量原理:热式质量流量原理,通过检测流体流动带走热量的变化,换算出液体质量流量数值,出厂完成整体校准,可直接输出数字或模拟信号。

产品参数

  • 满量程流速 (H₂O):80 µl/min
  • 准确度 (H₂O):5 %
  • 重复性 (H₂O):0.5 %
  • *大工作压力:30 bar
  • 流体连接器端口:1/4‑28 flat bottom
  • 接口:Analog voltage、Analog current、I²C、RS485
  • 电源电压:4‑12 V
  • 平均供应电流:6.8 mA

产品优势与特点

  • 支持水、碳氢化合物多介质校准选项,适配多种化学流体;
  • 接液部件为玻璃、PEEK、含氟聚合物,耐化学腐蚀;
  • 响应速度快,响应时间可低至 40ms 以内;
  • 多输出接口兼容,数字 I²C/RS485,同时支持电压、电流模拟输出;
  • 功耗水平较低,适合长时间连续监测;
  • 紧凑型简装外壳,便于整机 OEM 嵌入集成;
  • 流道直通无阻挡,气泡识别、液滴计数能力良好。

主要应用场景

半导体工艺流体监控、镀膜设备药液供给监测、刻蚀助剂微流量管控、CVD/PVD 配套微量试剂输送、精细化工微反应进料监控、新能源电解液微量配比、实验室科研微流体实验、光学光伏制程药剂供给、分析仪器闭环流体控制、微流体系统闭环调控、气泡检测、液滴计数、工艺自动化微量液体分配、小型化工设备流体监测等。