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Sensirion 瑞士 紧凑型液体流量传感器进口
采用CMOSens® 热式微流传感技术,属于热传导式流量检测;传感芯片与信号处理电路集成在同一硅基底;流体流经玻璃毛细管流道,通过检测流体带走热量的变化计算流量数值,支持双向流量识别;流道为直通玻璃毛细管,内部无阻挡结构,接液部件选用玻璃、PEEK、含氟聚合物惰性材质,传感与流体介质相互分隔,实现非侵入流量采集
半导体工艺微量药液监控、镀膜 / 刻蚀设备微流体供给监测、CVD/PVD 设备试剂输送、精细化工微量试剂配比、实验室微流控实验、光学光伏制程药液输送监测、新能源设备电解液微量供给、科研仪器流体回路、分析仪器、微剂量液体分配系统。