欢迎进入玉崎半导体(深圳)有限公司网站!

成为连接全球半导体资源
与国内终端需求的核心桥梁

全 国 服 务 电 话
13530227878

您的位置 : 首页 > 产品中心 > Sensirion 瑞士
产品分类导航
PRODUCT CENTER
MKS
MTL
Sensirion 瑞士 紧凑型液体流量传感器进口
产品型号:LG16-0430D
产品简介:

面向 OEM 设备集成的微型液体流量传感单元,适配仪器、密闭流体系统内部嵌入使用,针对微升级超低液体流量监测场景,兼顾批量装配需求,适配多行业设备内置流量检测需求

详细介绍

Sensirion 瑞士 紧凑型液体流量传感器进口


产品定位

面向 OEM 设备集成的微型液体流量传感单元,适配仪器、密闭流体系统内部嵌入使用,针对微升级超低液体流量监测场景,兼顾批量装配需求,适配多行业设备内置流量检测需求。

核心技术和原理

采用CMOSens® 热式微流传感技术,属于热传导式流量检测;传感芯片与信号处理电路集成在同一硅基底;流体流经玻璃毛细管流道,通过检测流体带走热量的变化计算流量数值,支持双向流量识别;流道为直通玻璃毛细管,内部无阻挡结构,接液部件选用玻璃、PEEK、含氟聚合物惰性材质,传感与流体介质相互分隔,实现非侵入流量采集

产品参数

  • 满量程流速 (H₂O):80 µl/min
  • 准确度 (H₂O):5 %
  • 重复性 (H₂O):0.5 %
  • *大工作压力:100 bar
  • 流体连接器端口:UNF 6‑40
  • 接口:Analog voltage、Analog current、I²C、RS485
  • 电源电压:4‑12 V
  • 平均供应电流:6.8 mA

产品优势与特点

  • 整机结构精简小巧,适合设备内部嵌入 OEM 集成;
  • 出厂完成完整标定,可直接输出流量信号;
  • 接液材料化学耐受表现好,适配各类溶剂、水溶液;
  • 响应速度快,可捕捉动态流体变化,可完成微流体闭环控制、气泡识别、液滴计数;
  • 多电气接口可选,数字、模拟输出同时支持,适配不同主控系统;
  • 功耗水平低,适合长时间连续监测工况;
  • 支持双向流量测量。

主要应用场景

半导体工艺微量药液监控、镀膜 / 刻蚀设备微流体供给监测、CVD/PVD 设备试剂输送、精细化工微量试剂配比、实验室微流控实验、光学光伏制程药液输送监测、新能源设备电解液微量供给、科研仪器流体回路、分析仪器、微剂量液体分配系统。