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Sensirion 瑞士 数字液体流量传感器进口
核心采用CMOSens®热式微流量传感技术;热式质量流量检测原理,芯片集成传感单元与信号处理电路;流道为直通玻璃毛细管结构,传感芯片与被测流体介质隔离,无流道内部活动构件,完成流体质量流量的采集转换输出。
半导体工艺流体管控、镀膜设备微量供液、刻蚀工艺试剂输送监测、CVD/PVD 配套液路监控、精细化工微量配料、科研实验室微流体实验、光学光伏制程药液供给、新能源设备电解液微量输送、工业化工微量试剂分配、分析仪器内置液路检测。