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Sensirion 瑞士 紧凑型液体流量传感器进口
产品型号:LG16‑2000D
产品简介:

紧凑型 OEM 配套液体流量传感器,面向设备集成厂商,用于微量、超微量液体流量监测,适配封闭系统内置集成,适合批量仪器设备内置搭载,支持水相及部分碳氢类介质流量采集

详细介绍

Sensirion 瑞士 数字液体流量传感器进口


产品定位

紧凑型 OEM 配套液体流量传感器,面向设备集成厂商,用于微量、超微量液体流量监测,适配封闭系统内置集成,适合批量仪器设备内置搭载,支持水相及部分碳氢类介质流量采集。

核心技术和原理

核心采用CMOSens®热式微流量传感技术;热式质量流量检测原理,芯片集成传感单元与信号处理电路;流道为直通玻璃毛细管结构,传感芯片与被测流体介质隔离,无流道内部活动构件,完成流体质量流量的采集转换输出。

产品参数

  • 满量程流速 (H₂O):5 ml/min
  • 准确度 (H₂O):5 %
  • 重复性 (H₂O):0.5 %
  • *大工作压力:15 bar
  • 流体连接器端口:1/4‑28 flat bottom
  • 电气接口:Analog voltage、Analog current、I²C、RS485
  • 电源电压:4‑12 V
  • 平均供应电流:6.8 mA

产品优势与特点

  • 接液部件为玻璃、PEEK、含氟聚合物,耐多类化学溶剂腐蚀,适配多种化学流体;
  • 器件本体体积小巧,适合设备内部嵌入式 OEM 集成;
  • 出厂完成校准,模拟、数字多接口输出,适配不同主控系统;
  • 响应速度快,可达 40ms 以内,适配动态流体过程;
  • 无运动构件,减少机械磨损带来的性能漂移;
  • 支持气泡识别、液滴计数、微流体闭环流量管控。

主要应用场景

半导体工艺流体管控、镀膜设备微量供液、刻蚀工艺试剂输送监测、CVD/PVD 配套液路监控、精细化工微量配料、科研实验室微流体实验、光学光伏制程药液供给、新能源设备电解液微量输送、工业化工微量试剂分配、分析仪器内置液路检测。