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Sensirion 瑞士 液体流量传感器进口
产品型号:SLF3S‑1300F
产品简介:

属于 SLF3x 新一代液体流量传感系列,面向大批量 OEM 场景,主打多功能与良好性价比,用于 ±40 ml/min 双向低流量液体监测,适配仪器设备集成、流体工艺监控,兼顾研发样机与量产设备使用需求

详细介绍

Sensirion 瑞士 液体流量传感器进口


产品定位

属于 SLF3x 新一代液体流量传感系列,面向大批量 OEM 场景,主打多功能与良好性价比,用于 ±40 ml/min 双向低流量液体监测,适配仪器设备集成、流体工艺监控,兼顾研发样机与量产设备使用需求。

核心技术和原理

1. 核心技术:CMOSens®一体化芯片技术,传感单元、信号调理、数字校准集成在单颗 CMOS 芯片上,工厂完成线性化、温度补偿标定,支持规模化量产输出数字信号。

2. 测量原理:热式流量检测,介质隔离传感,传感芯片不直接接触被测液体;流道内流体带走热元件热量,芯片采集热场变化换算实时流量,支持双向流量识别;可识别管路气泡、堵塞等工况异常信号标志位输出。


产品参数

  • 水满量程流速:40 ml/min
  • 水条件准确度:5 %
  • 水条件重复性:0.5 %
  • *大工作压力:12 bar
  • 流体连接器端口:1/4‑28 flat bottom
  • 通讯接口:I²C、RS485
  • 电源电压:3.2‑3.8 V
  • 量程比:200:1 及以上
  • 响应时间:<20 ms
  • 标定介质:水、异丙醇(IPA)
  • 流道结构:直通无阻碍流道,无运动部件

产品优势与特点

1. 双向流量检测,支持正负向流体测量;

2. 直通无阻碍流道,无运动部件,降低介质卡滞风险;
3. 润湿部件为惰性材质,耐化学腐蚀,适配多种液态介质;
4. 内置故障状态检测,可上报管路进气、堵塞工况;
5. 体积小巧轻量化,流体、电气接口标准化,设备集成难度低;
6. 出厂完成标定与温度补偿,用户无需额外校准;
7. 兼顾样机研发评估与大批量设备生产导入。


主要应用场景

半导体制程药液流量监控、镀膜设备试剂供给监测、刻蚀工艺助剂输送、CVD/PVD 辅液回路监测;精细化工微量配液、新能源实验流体回路;科研实验室流体分析、光学光伏设备药剂输送;分析仪器、生命科学设备微量液体分配、流体工艺过程监控、试剂输送体积校验。