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1. 核心技术:CMOSens®一体化芯片技术,传感单元、信号调理、数字校准集成在单颗 CMOS 芯片上,工厂完成线性化、温度补偿标定,支持规模化量产输出数字信号。
1. 双向流量检测,支持正负向流体测量;
半导体制程药液流量监控、镀膜设备试剂供给监测、刻蚀工艺助剂输送、CVD/PVD 辅液回路监测;精细化工微量配液、新能源实验流体回路;科研实验室流体分析、光学光伏设备药剂输送;分析仪器、生命科学设备微量液体分配、流体工艺过程监控、试剂输送体积校验。