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Sensirion 瑞士 液体流量传感器进口
产品型号:SLF3S-0600F
产品简介:

属于 SLF3x 新一代液体流量传感系列,面向大批量 OEM 设备,聚焦微流量、低流量液体监测场景,兼顾性能与成本表现,适配分析仪器、工艺流体控制、科研设备等多类集成化设备开发,支持双向微流量液体测量

详细介绍

Sensirion 瑞士 液体流量传感器进口


产品定位

属于 SLF3x 新一代液体流量传感系列,面向大批量 OEM 设备,聚焦微流量、低流量液体监测场景,兼顾性能与成本表现,适配分析仪器、工艺流体控制、科研设备等多类集成化设备开发,支持双向微流量液体测量。

核心技术和原理

  • 核心技术:CMOSens®单芯片传感技术,将传感单元、信号调理、线性化、温度补偿、校准逻辑集成在同一颗芯片上,直接输出处理完成的数字信号。
  • 测量原理:热式介质隔离测量原理。流道内部设置加热与测温元件,传感元件不直接接触被测液体;液体静止时上下游温度分布均衡;液体流动带走热量,上下游形成温差,温差大小对应流量大小,同时可以判别流体流动方向;直通无阻碍流道,内部无运动构件。

产品参数

  • 水满量程流速:2 ml/min
  • 水测量准确度:5 %
  • 水重复性:0.5 %
  • IPA 满量程流速:2 ml/min
  • IPA 测量准确度:10 %
  • IPA 重复性:0.5 %
  • *大工作压力:12 bar
  • 流体接口:1/4‑28 flat bottom
  • 通讯接口:I²C、RS485
  • 供电电压:3.2‑3.8 V
  • *大供电电流:6 mA
  • 量程比:≥200:1
  • 响应时间:<20 ms
  • 外形尺寸 (L×W×H):48 × 15.5 × 8.9 mm
  • 具备堵管、管路进气故障识别能力;支持双向流量检测;做过水、IPA 介质出厂标定;带温度补偿;润湿材料具备耐化学腐蚀属性

产品优势与特点

  • 介质隔离热式检测,流道无运动构件,降低机械损耗、卡滞风险;直通通畅流道不易残留介质。
  • 出厂完成线性、温度补偿与标定,主机侧无需复杂校准开发,直接读取数字信号。
  • 量程比表现可观,小流量区间分辨力良好,毫秒级响应,支持双向流量监测。
  • 自带堵管、管路进气状态识别,便于设备做流体异常判断。
  • 润湿部件耐化学腐蚀,适配多种有机溶剂、水溶液。
  • 体积小巧,标准化流体与电气接头,便于 OEM 整机集成。
  • 兼顾性能与物料成本,适合规模化设备量产项目。

主要应用场景

半导体工艺流体监控、镀膜设备药液供给监测、刻蚀助剂微流量管控、CVD/PVD 配套微量试剂输送、精细化工微反应进料监控、新能源电解液微量配比、实验室科研微流体实验、光学光伏制程药剂供给、分析仪器闭环流体控制、微流体系统闭环调控、气泡检测、液滴计数、工艺自动化微量液体分配、小型化工设备流体监测等。