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Sensirion 瑞士 微量液体流量传感器进口
产品型号:SLI-0430
产品简介:

属于 SLI 系列跨行业高标准微量液体流量传感器,面向严苛流体控制系统集成,适配水基、烃基类液体,用于微升级每分钟区间的液体流量监测与给药、分配过程测控,适配工业设备、科研实验室多类 OEM 整机集成场景

详细介绍

Sensirion 瑞士 微量液体流量传感器进口


产品定位

属于 SLI 系列跨行业高标准微量液体流量传感器,面向严苛流体控制系统集成,适配水基、烃基类液体,用于微升级每分钟区间的液体流量监测与给药、分配过程测控,适配工业设备、科研实验室多类 OEM 整机集成场景。

核心技术和原理

采用CMOSens® MEMS 热式传感技术,第四代 MEMS 芯片集成热传感元件、放大电路、线性化、温度补偿单元于单颗芯片;采用非侵入式壁面测温方式测量,流道为直通石英玻璃毛细管,传感元件不直接接触介质,无流道内部运动部件,依靠流体流动带走热量变化换算流量数值,触液材质为石英玻璃、PEEK、氟聚合物密封件,适配多种化学介质

产品参数

  • 满量程流速 (H₂O):80 ul/min
  • 准确度 (H₂O):5 %
  • 重复性 (H₂O):0.5 %
  • 满量程流速 (IPA):500 ul/min
  • 准确度 (IPA):20 %
  • 重复性 (IPA):1 %
  • *大工作压力:50 bar
  • 流体连接器端口:1/4‑28 flat bottom
  • 接口:Analog voltage、Analog current、I²C、RS485
  • 电源电压:4‑6 V
  • 平均供应电流:6.8 mA
  • 外壳防护等级:IP65
  • 内部容积:5 µl
  • 满量程下压降 (H₂O,23℃):1 mbar

产品优势与特点

  • 无流道内运动部件,降低介质卡滞风险;非侵入式热测量,流道为直通石英玻璃毛细管,介质兼容性强,适配溶剂、醇类、油类、粘合剂等介质。
  • 模块化接口设计,可搭配多款 SCC1 系列适配线缆,便于整机集成改造。
  • 响应速度快,可捕捉高速加液、微量分配等动态流体过程。
  • IP65 防护紧凑型壳体,适配设备内部与实验室现场环境。
  • 同时预存水、异丙醇两套校准参数,两种介质可切换使用。
  • 低压降设计,对微流体系统管路扰动小。

主要应用场景

精细化工微量配料、半导体工艺微药液供给监控、镀膜设备微量药剂输送、刻蚀辅助液流量监测、CVD/PVD 辅液输送、实验室微流控实验、科研流体测试平台、光伏制程药液管控、新能源电解液微量配比、工业自动化流体回路、微剂量加注系统、分析仪器液相流体监测。