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Sensirion 瑞士 微量液体流量传感器进口
采用CMOSens® MEMS 热式传感技术,第四代 MEMS 芯片集成热传感元件、放大电路、线性化、温度补偿单元于单颗芯片;采用非侵入式壁面测温方式测量,流道为直通石英玻璃毛细管,传感元件不直接接触介质,无流道内部运动部件,依靠流体流动带走热量变化换算流量数值,触液材质为石英玻璃、PEEK、氟聚合物密封件,适配多种化学介质
精细化工微量配料、半导体工艺微药液供给监控、镀膜设备微量药剂输送、刻蚀辅助液流量监测、CVD/PVD 辅液输送、实验室微流控实验、科研流体测试平台、光伏制程药液管控、新能源电解液微量配比、工业自动化流体回路、微剂量加注系统、分析仪器液相流体监测。