欢迎进入玉崎半导体(深圳)有限公司网站!

成为连接全球半导体资源
与国内终端需求的核心桥梁

全 国 服 务 电 话
13530227878

您的位置 : 首页 > 产品中心 > Sensirion 瑞士
产品分类导航
PRODUCT CENTER
MKS
MTL
Sensirion 瑞士 微流量液体流量计进口
产品型号:SLI-1000
产品简介:

属于跨行业高标准微流量液体流量计,面向严苛流量控制系统集成使用,适配水基、烃基类(醇、溶剂、油、燃料、粘合剂)微流量液体监测,覆盖微升到毫升级区间流量测量,适配工业、科研设备内部流体回路集成场景

详细介绍

Sensirion 瑞士 微流量液体流量计进口


产品定位

属于跨行业高标准微流量液体流量计,面向严苛流量控制系统集成使用,适配水基、烃基类(醇、溶剂、油、燃料、粘合剂)微流量液体监测,覆盖微升到毫升级区间流量测量,适配工业、科研设备内部流体回路集成场景。

核心技术和原理

1. 核心技术:CMOSens®单片传感技术,将传感元件、信号调理、线性化、温度补偿单元集成在单颗 MEMS 芯片内部。

2. 测量原理:热式非侵入测量,流道为直通玻璃毛细管,无运动构件;芯片内置加热与测温元件,流体流动改变上下游温度分布,依据温度差值换算流量数值,支持双向流量识别,流体不直接接触传感芯片,实现介质隔离测量。


产品参数

  • 满量程流速 (H₂O):1 ml/min
  • 准确度 (H₂O):5 %
  • 重复性 (H₂O):0.5 %
  • 满量程流速 (IPA):10 ml/min
  • 准确度 (IPA):20 %
  • 重复性 (IPA):1 %
  • *大工作压力:15 bar
  • 流体连接器端口:1/4‑28 flat bottom
  • 接口:Analog voltage、Analog current、I²C、RS485
  • 电源电压:4‑6 V
  • 平均供应电流:6.8 mA
  • 外壳防护等级:IP65

产品优势与特点

1. 无运动构件,直通玻璃毛细管流道,降低堵塞风险;触液部件采用玻璃、PEEK、含氟聚合物密封材料,适配多种化学介质。

2. 响应速度快,适配动态加注、微量分配过程监测;模块化线缆方案,多输出接口可选,方便流体系统集成调试。
3. 外壳结构紧凑,IP65 防护,可在工业现场环境稳定工作;出厂内置水、异丙醇两组标定参数,可切换调用。


主要应用场景

半导体设备微量药剂供给监测、镀膜 / 刻蚀设备微量试剂回路、CVD/PVD 工艺辅助流体监控、精细化工微量配料、新能源电解液微量输送监测、实验室微流控实验、光学光伏工艺药剂配比、分析仪器、工业自动化微量流体控制、科研流体实验平台、有机溶剂输送监测。