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Sensirion 瑞士 微液体流量传感器进口
采用CMOSens®热式流量传感技术；热传导式测量原理，通道内置加热元件与温度感应元件，流体流动会改变上下游温度分布，温度差值和流体流量形成对应关系，可识别双向流动状态；芯片集成传感单元、信号调理、标定补偿单元，输出处理完成的信号；流道内部无运动构件，流体通过直通道管壁完成测量，触液件选用玻璃、PEEK、含氟聚合物密封材质，保障介质兼容能力。
半导体工艺流体回路监控；镀膜、刻蚀、CVD/PVD 设备药剂供给监测；精细化工微量配液；新能源设备微流体管控；实验室科研微流控实验；光学光伏设备药液输送监测；工业自动化微量流体控制系统；分析仪器、试剂分配系统；溶剂、醇类、油类介质流量采集。