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Sensirion 瑞士 液体流量传感器瑞士进口
产品型号:SLQ‑QT105
产品简介:

面向苛刻涂料系统开发的半导体级液体流量传感器件,适配烃基类液体,用于*高 120 ml/min 流量工况,适配半导体制程、精细化工动态分配给药监测场景,专门针对光刻胶、烃类溶剂等高纯度介质流量采集。

详细介绍

Sensirion 瑞士 液体流量传感器瑞士进口


产品定位

面向苛刻涂料系统开发的半导体级液体流量传感器件,适配烃基类液体,用于*高 120 ml/min 流量工况,适配半导体制程、精细化工动态分配给药监测场景,专门针对光刻胶、烃类溶剂等高纯度介质流量采集。

核心技术和原理

  • 采用CMOSens® 热式微传感技术,无侵入式检测;
  • 流道为直通式结构,器件内部不存在运动构件;
  • 依靠微型加热、测温元件捕捉流体流动带来的温度场偏移,换算得到流量数值,支持双向流量识别;
  • 芯片集成信号调理、温度补偿、校准存储单元,输出标准化数字 / 模拟信号。

产品参数

  • 满量程流速(IPA):120 ml/min
  • 准确度(IPA):10 %
  • 重复性(IPA):2 %
  • *大工作压力:12 bar
  • 流体连接器端口:Super 300 type pillar fitting 4×3
  • 接口:Analog voltage、Analog current、I²C、RS485
  • 电源电压:4.5‑5.5 V
  • 平均供应电流:20 mA
  • *大供应电流:100 mA
  • 响应时间:<50 ms
  • 耐压(破坏压力):32 bar

产品优势与特点

  • 直通流道搭配 PFA 管件,适配高纯度烃类介质,颗粒物耐受表现良好;
  • 内部无运动构件,降低卡滞、磨损带来的维护频次;
  • 响应速度快,适配高速分配、动态加注工况;
  • RS485 支持总线组网,可实现长距离信号传输;
  • 同时提供数字、模拟多类型输出,方便接入工控、实验室采集系统;
  • 流道压降小,120 ml/min(IPA、25℃)工况下压降<10 mbar。

主要应用场景

半导体光刻胶供给监测、镀膜工艺液体给药、CVD/PVD 辅液供给监控、精细化工烃类溶剂输送、科研实验室烃类流体实验、光伏制程药液分配、分析仪器流体回路、涂料喷涂制程监控、化工小流量配料、半导体设备流体测控。