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Sensirion 瑞士 微量液体流量传感器进口
产品型号:SLQ-QT500
产品简介:

SLQ‑QT500 为面向严苛工况的高粘度、含微小颗粒液体流量传感器,适配水基、碳氢类介质,可用于半导体镀膜涂层系统、精细化工、科研实验等对流体兼容性要求较高的液体流量监测与分配控制场景,支持水、异丙醇双介质标定,适配多种腐蚀性、高粘度流体工况

详细介绍

Sensirion 瑞士 微量液体流量传感器进口


产品定位

SLQ‑QT500 为面向严苛工况的高粘度、含微小颗粒液体流量传感器,适配水基、碳氢类介质,可用于半导体镀膜涂层系统、精细化工、科研实验等对流体兼容性要求较高的液体流量监测与分配控制场景,支持水、异丙醇双介质标定,适配多种腐蚀性、高粘度流体工况。

核心技术和原理

采用CMOSens® 微热式测量技术,非侵入式测温感知流体流动;无阻挡直通流道,传感芯片不接触被测介质;依靠流体流动带走热量的热传导变化换算流量数值,测量表现受流体粘度影响较小,可适配宽粘度区间介质;触液部件为石英玻璃流道 + PFA 接头材质,具备良好化学耐受表现

产品参数

  • 满量程流速 (H₂O):120 ml/min
  • 准确度 (H₂O):5 %
  • 重复性 (H₂O):0.5 %
  • 满量程流速 (IPA):120 ml/min
  • 准确度 (IPA):5 %
  • 重复性 (IPA):0.5 %
  • *大工作压力:12 bar
  • 爆破压力:30 bar
  • 流体连接器端口:1/4 tubing(PFA 管外径 6.35mm)
  • 接口:模拟电压、模拟电流、I²C、RS485
  • 电源电压:3.3‑3.7 V
  • 平均供应电流:5.1 mA
  • *大供应电流:6.5 mA
  • 响应时间:<50 ms
  • 防护等级:IP54
  • 总内部容积:5 ml
  • 机身尺寸:59 × 35 × 23.2 mm
  • 总重量:约 45 g

产品优势与特点

  • 直通无障碍物流道,内部不存在运动构件,降低介质堵塞风险,可兼容携带微小颗粒流体(颗粒不可刮擦石英管壁);
  • 触液材料为石英、PFA,耐多种溶剂、腐蚀化学品,适配碳氢化合物、醇类、油类、胶粘剂等介质;
  • 测量性能受粘度影响小,可覆盖至约 1000 mm²/s 运动粘度流体;
  • 双介质标定(水、异丙醇),便于不同工况换算;
  • 多信号输出接口,方便对接工控、采集设备;
  • 响应速度快,适合快速液体分配流程监控;
  • 压力损失低,120 ml/min(IPA,23℃)工况下压降<2 mbar。

主要应用场景

半导体镀膜涂层设备、CVD/PVD 工艺流体监测、刻蚀配套液路监控、精细化工流体配比、实验室液相测试、光伏光学制程液路、新能源制程供液监测、工业化工试剂分配、溶剂 / 胶粘剂输配、高粘度油料流量采集、科研微流体实验、工艺自动化液体处理系统。