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Sensirion 瑞士 多功能耐用液体流量传感器
产品型号:SLS‑1500
产品简介:

多功能耐用型液体流量传感器,面向独立式实验室装置、中小流量工业流体监测场景,适配化学兼容性要求较高的中小流量液体回路,可用于科研试验与设备配套集成

详细介绍

Sensirion 瑞士 多功能耐用液体流量传感器


产品定位

多功能耐用型液体流量传感器,面向独立式实验室装置、中小流量工业流体监测场景,适配化学兼容性要求较高的中小流量液体回路,可用于科研试验与设备配套集成

核心技术和原理

采用CMOSens® 热式传感技术,属于非侵入式管壁测温检测;流体流经薄壁直管流道,传感器在管壁外侧采集流体热传递信号,实现双向流量测量;流道内部无活动部件,流体直接在直管内部流通,传感元件不接触被测液体

产品参数

  • 满量程流速 (H₂O):40 ml/min
  • 准确度 (H₂O):5 %
  • 重复性 (H₂O):0.5 %
  • *大工作压力:12 bar
  • 流体连接器端口:1/4‑28 flat bottom
  • 接口:模拟电压、模拟电流、I²C、RS485
  • 电源电压:4‑6 V
  • 平均供应电流:5.1 mA;*大供应电流 6.5 mA
  • 响应时间:20 ms
  • 接液材质:904L 高性能不锈钢、PEEK、PTFE
  • 工作温度:5 ℃~50 ℃
  • 爆破压力:25 bar

产品优势与特点

  • 双向流量测量,非侵入式检测,传感芯片不接触介质;
  • 接液部件选用惰性材质,适配多种腐蚀性化学介质;
  • 无内部活动构件,降低流道堵塞风险;
  • 多类型信号输出,数字、模拟信号兼容,模块化接线方案,便于系统集成;
  • 较快响应速度,适配动态变化的流体分配过程;
  • 紧凑型外壳,兼顾实验室台架与工业设备内置装配场景。

主要应用场景

半导体工艺药液流量监测、镀膜设备试剂供给回路、刻蚀辅液管路监控、CVD/PVD 配套流体单元、精细化工实验回路、新能源燃料电池流体测试、光学光伏药液配比、高校科研实验室流体实验、分析仪器流体单元、工业自动化流体分配系统、微流体试验平台、化工小试装置。