产品定位

核心技术和原理

• 核心技术：CMOSens® MEMS 传感技术，不锈钢传感膜片，W 型优化流道结构，MEMS 芯片布置在流道内层流区域，规避大流量下湍流带来的干扰；芯片、信号调理、标定数据集成于单颗器件内部。
• 测量原理：热式流量测量。芯片内置微型加热元件与上下游温度检测单元，热量透过不锈钢膜片传递至流道内部；液体流动会偏移热场分布，上下游产生温度差值，温度差值对应流体流量，同时可以识别流体流向；芯片完成信号处理、线性校正后输出数字信号；流道内部无运动构件，传感芯片不直接接触被测液体介质。

产品参数

• 满量程流速（H₂O）：600 ml/min
• 准确度（H₂O）：5 %
• 重复性（H₂O）：0.5 %
• 满量程流速（IPA）：600 ml/min
• 准确度（IPA）：10 %
• 重复性（IPA）：0.5 %
• *大工作压力：3 bar
• 爆裂压力：9 bar
• 流体连接器端口：Barbed fittings（倒钩接头）
• 通讯接口：I²C、RS485
• 电源电压：3.2‑3.8 V
• 外形尺寸：48 × 15.5 × 8.6 mm
• 重量：约 3.0 g
• 内部容积：58 µl
• 工作温度：+5 ~ +50 ℃
• 支持双向流量检测。

产品优势与特点

• 和 SLF3x 系列引脚、连接器规格统一，现有线缆、上位机软件可以复用，降低项目改造成本，不用重新编程调试。
• W 型流道配合不锈钢膜片，可处理较高流量，抑制湍流对读数带来的扰动。
• 无内部运动构件，减少介质堵塞、机械磨损带来的影响。
• 毫秒级响应速度，支持双向流量识别，可捕捉回流、气泡、泵体异常波动等工况信号。
• 润湿部件具备较好耐化学兼容能力，适配多种有机、水基液体介质。
• 出厂已完成标定，输出已经线性化处理的信号，减少后端信号调试工作量。

主要应用场景