Sensirion 瑞士 低流量液体流量传感器配件

EK‑SLI‑1000 套件参数

• *大流速：1 ml/min（H₂O）；10 ml/min（IPA）
• 对外接口：RS485、I²C、USB、模拟（4‑pin M8）
• 防护等级：IP65 防尘防水
• 套件组成：1 个 SLI‑1000 传感器、SCC1‑USB 传感器电缆、模拟传感器电缆、流体连接器、快速启动指南

SLI‑1000 传感器本体参数

• 满量程流速 (H₂O)：1 ml/min；准确度 (H₂O)：5 %；重复性 (H₂O)：0.5 %
• 满量程流速 (IPA)：10 ml/min；准确度 (IPA)：20 %；重复性 (IPA)：1 %
• *大工作压力：15 bar
• 流体连接器端口：1/4‑28 flat bottom
• 硬件接口：Analog voltage、Analog current、I²C、RS485
• 电源电压：4‑6 V；平均供应电流：6.8 mA
• 触液材质：玻璃、PEEK、含氟聚合物密封件

产品优势与特点

半导体工艺微量供液验证、镀膜设备流体调试、刻蚀助剂输送测试、CVD/PVD 工艺流体实验、精细化工微量配液、新能源材料实验、光学光伏药液供给测试、高校科研实验室微流体实验、工业自动化流体开发、生命科学微量给药调试、精密设备研发样机评估、试剂分配系统性能测试。