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Sensirion 瑞士 多功能质量流量控制器现货
采用CMOSens® MEMS 芯片集成技术，将 MEMS 微热流量传感单元与信号调理电路集成在单颗芯片；基于微热量热式测量原理，加热元件两侧对称布置温度传感器，气体流动带走热量产生温差信号，经片上电路运算输出质量流量数值，搭配内置数字控制回路驱动阀门完成闭环流量调节。器件漂移表现低，现场使用阶段无需重新校准；动态控制范围优于 1000:1，调节建立时间低至 50ms；设备内存存储多组气体校准参数，可直接切换适配不同工艺气体。
半导体工艺辅助供气、镀膜设备供气、CVD/PVD 工艺气体配比、实验室气体配比系统、科研实验平台、光伏光学设备气路、精细化工气体合成、工业自动化过程控制、分析仪器、医疗气体调控、新能源实验装置、气体吹扫、混合配气系统。