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Sensirion 瑞士 多功能质量流量控制器
产品型号:SFC5500-10slm
产品简介:

属于 SFC5500 系列多功能质量流量控制器;性能对标 SFC5400 系列,兼顾优异控制表现与供货便利性,适配工业、分析仪器、医疗、科研等多类对气体流量控制有较高要求的设备场景。

详细介绍

Sensirion 瑞士 多功能质量流量控制器现货


产品定位

属于 SFC5500 系列多功能质量流量控制器;性能对标 SFC5400 系列,兼顾优异控制表现与供货便利性,适配工业、分析仪器、医疗、科研等多类对气体流量控制有较高要求的设备场景。

核心技术和原理


  • 核心技术:CMOSens® MEMS 单片集成技术,将 MEMS 传感元件、信号处理电路集成在同一硅芯片,自带出厂校准与温度补偿。
  • 测量原理:微热量热式测量原理,芯片隔热薄膜集成加热元件、上下游热电堆;气体流动改变上下游温度分布,通过捕捉温度不对称变化,换算得到气体质量流量数值,搭配内置 PID 完成流量闭环调控。


产品参数

  • 满量程流速:10 slm
  • 准确度:0.08% FS or 0.8% SP
  • 校准适配气体:Air, O₂, N₂, Ar, CO₂, He, H₂, CH₄ and N₂O
  • *大工作压力:5 bar
  • 流体连接器端口:Legris
  • 通讯接口:Device net, RS485
  • 电源电压:14‑26.4 V
  • 外形尺寸 (长 × 宽 × 高):115 × 24.6 × 91 mm

产品优势与特点

  • 长期工作状态稳定,使用周期内无需重复校准;单台器件覆盖较宽调控区间,可替代多款传统规格 MFC。
  • 出厂完成多气体校准,支持气体识别、设备自检功能,切换工艺气体无需重新标定。
  • 流体接头配件可更换,硬件配置灵活;具备 Device net、RS485 数字通讯,适配工业设备组网。

主要应用场景

半导体工艺配套、镀膜设备、刻蚀工艺、CVD、PVD 设备、实验室科研装置、分析仪器、光学光伏设备、精细化工配比、工业化工气体配比、新能源实验平台、过程自动化、气体混配装置、医疗分析设备。