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Sensirion 瑞士 多功能质量流量控制器进口
产品型号:SFC5500-200slm
产品简介:

属于 SFC5500 系列多功能质量流量控制器;性能对标 SFC5400 系列,兼顾优异控制表现与供货便利性,适配工业、分析仪器、医疗、科研等多类对气体流量控制有较高要求的设备场景。

详细介绍

Sensirion 瑞士 多功能质量流量控制器进口


产品定位

属于 SFC5500 系列多功能质量流量控制器;性能对标 SFC5400 系列,兼顾优异控制表现与供货便利性,适配工业、分析仪器、医疗、科研等多类对气体流量控制有较高要求的设备场景。

核心技术和原理

  • 核心技术:CMOSens® MEMS 单芯片集成技术,把 MEMS 传感单元、模数转换、信号处理电路集成在同一颗硅芯片。传感膜片设置加热元件、上下游热电堆温度采集单元;气体通道截面大于传统毛细管式 MFC,对颗粒物、湿气耐受表现更佳,具备较好抗电磁干扰能力。
  • 测量原理:微热式量热测量原理。绝缘膜片上加热元件产生热量,气体流过时带走热量,造成上下游热电堆产生温度差;温差信号转化为气体质量流量信号,板载微处理器结合控制算法驱动阀门完成闭环流量调节,芯片自带温度补偿。

  • 产品参数

    • 满量程流速:200 slm
    • 准确度:0.08% FS or 0.8% SP
    • 校准气体:Air, O2 and N2 flow(空气、氧气、氮气)
    • *大工作压力:5 bar
    • 流体连接器端口:Legris
    • 通讯接口:Device net、RS485
    • 电源电压:14‑26.4 V
    • 外形尺寸(长 × 宽 × 高):135 × 24.6 × 91 mm

    产品优势与特点

    • 运行过程中不易产生漂移,使用周期内无需开展重新校准作业;
    • 传感膜片热质量小,响应速度快,输出更新频次高;
    • 动态量程覆盖范围广,单台器件可覆盖传统多款 MFC 的流量区间;
    • 支持 Device net、RS485 数字通讯,方便接入自动化控制系统;
    • 通道结构不易发生堵塞,可适配含少量颗粒物、加湿类气体工况。

    主要应用场景

    半导体工艺配套设备、镀膜设备、刻蚀设备、CVD 化学气相沉积、PVD 物**相沉积设备、科研实验室气路平台、光学光伏工艺设备、精细化工气体配比、新能源实验测试设备、工业化工过程气体管控、分析仪器、医疗设备气路、材料研发实验台。