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Sensirion 瑞士 多功能质量流量控制器MFC
产品型号:SFC5400
产品简介:

属于高可配置型 MFC(质量流量控制器),按订单定制,面向对接口、流体接头、气体种类有多样化选配需求的工业设备、科研装备、半导体工艺装备项目;金属机身,支持丰富电气与流体接口选配,适配中小到大批量项目,可同步选用同性能无阀版本 SFM5400 质量流量计配套使用。

详细介绍

Sensirion 瑞士 多功能质量流量控制器MFC


产品定位

属于高可配置型 MFC(质量流量控制器),按订单定制,面向对接口、流体接头、气体种类有多样化选配需求的工业设备、科研装备、半导体工艺装备项目;金属机身,支持丰富电气与流体接口选配,适配中小到大批量项目,可同步选用同性能无阀版本 SFM5400 质量流量计配套使用。

核心技术和原理

  • 核心技术:CMOSens® MEMS 单片集成技术,单颗硅芯片集成热式传感元件、ADC 模数转换、信号放大、数字线性化、温度补偿电路。
  • 测量原理:量热式热传递测量原理。绝缘薄膜布置加热元件,上下游集成两组热电堆;气体流动改变芯片上下游温度场分布,芯片捕捉温度场不对称信号完成质量流量测算;板载微处理器运行 PID 算法驱动调节阀完成闭环流量控制。
  • 传感通道截面大于传统毛细管式 MFC,降低颗粒物堵塞风险;芯片热质量小,实现较快响应速度,具备电磁干扰耐受能力。

  • 产品参数

    • 满量程流速:1, 2, 5, 10, 20, 50, 100 slm
    • 准确度:0.08% FS or 0.8% SP
    • 支持校准气体:Air, O₂, N₂, Ar, CO₂, He, H₂, CH₄, N₂O, SF₆ and C₄F₈
    • *大工作压力:5 bar
    • 流体连接器端口:Swagelock, VCO, VCR, Downmount
    • 通讯接口:Analog voltage、Analog current、Device net、IO‑link、RS485
    • 电源电压:14‑26.4 V
    • 整机尺寸 (长 × 宽 × 高):101.1 × 24.4 × 91 mm

    产品优势与特点

    • 配置灵活,流体接头、通讯接口、量程、气体种类均可按需选配;支持多组气体校准存储于设备本体,附带气体匹配自检功能。
    • 芯片内置温度补偿、数字线性化处理,设备出厂完整校准,长期运行下无需现场重新校准。
    • 较宽动态控制区间,稳定时间短,低流量区间同样维持不错的测控表现。
    • 金属结构本体,可选择带阀控制版本或无阀流量计量版本。
    • 接口覆盖模拟电压、模拟电流、多种数字总线,适配各类工控与设备控制系统。

    主要应用场景

    半导体工艺设备(刻蚀、薄膜沉积)、CVD、PVD 镀膜设备;科研实验室气路配比;光学光伏制造设备;精细化工、工业化工气体配比;分析仪器;工艺自动化流程;特种气体供气系统;新能源工艺装备。