产品定位

核心技术和原理

产品参数

• 满量程流速：1、2、5、10 slm
• 准确度：0.2% FS or 2% SP
• 支持校准气体：Air, O₂, N₂, Ar, CO₂, He, H₂, CH₄, N₂O, SF₆ and C₄F₈
• *大工作压力：10 bar
• 流体连接器端口：Downmount（底部安装 manifold）
• 通讯接口：RS485
• 电源电压：14‑26.4 V
• 外形尺寸（长 × 宽 × 高）：48 × 25 × 79.5 mm

产品优势与特点

• 整机结构小巧，底部 manifold 安装方式，节省设备内部安装空间，便于多阀阵列集成；
• MEMS 芯片集成方案，具备较宽动态调控区间，响应速度快；
• 金属材质阀体本体，适配多种工艺气体；
• 出厂完成温度补偿与多气体校准，输出数字信号，抗电磁干扰表现较好；
• 适配大批量 OEM 定制，可根据项目需求做功能调整；
• 配套同系列无阀流量计 SFM5300，可在同一套系统搭配使用。

主要应用场景