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Sensirion 瑞士 小型质量流量控制器
产品型号:SFC5330
产品简介:

SFC5330 为 SFC5300 的缩小款小型质量流量控制器,面向对成本较为关注、批量规模较大的 OEM 项目,金属外壳,支持向下安装连接,可提供无阀版本,大批量项目支持适配调整开发

详细介绍

Sensirion 瑞士 多功能质量流量控制器现货


产品定位

SFC5330 为 SFC5300 的缩小款小型质量流量控制器,面向对成本较为关注、批量规模较大的 OEM 项目,金属外壳,支持向下安装连接,可提供无阀版本,大批量项目支持适配调整开发。

核心技术和原理

核心依托CMOSens® 集成传感技术,将 MEMS 热式传感单元与信号处理电路集成于单颗 CMOS 硅芯片;采用热式气体质量流量检测原理,通过感知气体流动带来的热分布变化得到气体质量流量信号,搭配内置调节阀、驱动电路完成流量闭环调节,无需现场重新校准,信号自带温度补偿。

产品参数

  • 满量程流速:1 slm、2 slm、5 slm
  • 准确度:0.2% FS or 2% SP
  • 支持校准气体:Air、O₂、N₂、Ar、CO₂、He、H₂、CH₄、N₂O、SF₆、C₄F₈
  • *大工作压力:10 bar
  • 流体连接器端口:Downmount(底部安装)
  • 通讯接口:RS485
  • 电源电压:14‑26.4 V
  • 外形尺寸(长 × 宽 × 高):34 × 25 × 62.2 mm

产品优势与特点

  • 整机结构小巧,节省设备内部安装空间,金属壳体,环境耐受表现好;
  • 具备不错的长期稳定性与流量复现能力,动态测量区间宽广;
  • 响应速度快,适配多类工艺气体,兼容十余种气体出厂校准;
  • 数字 RS485 通讯,适配设备 OEM 集成;
  • 有无阀版本可供选配,同参数流量计与控制器可搭配使用;
  • 大批量项目支持按需做硬件、软件适配调整

主要应用场景

半导体工艺配套设备、镀膜装备、CVD/PVD 工艺设备、实验室科研仪器、光伏光学设备、精细化工气路配比、工业化工气体控制系统、分析仪器、工业自动化气路、特种材料制备、小流量气体混合配比装置。