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Sensirion 瑞士 多功能质量流量控制器现货
核心依托CMOSens® 集成传感技术,将 MEMS 热式传感单元与信号处理电路集成于单颗 CMOS 硅芯片;采用热式气体质量流量检测原理,通过感知气体流动带来的热分布变化得到气体质量流量信号,搭配内置调节阀、驱动电路完成流量闭环调节,无需现场重新校准,信号自带温度补偿。
半导体工艺配套设备、镀膜装备、CVD/PVD 工艺设备、实验室科研仪器、光伏光学设备、精细化工气路配比、工业化工气体控制系统、分析仪器、工业自动化气路、特种材料制备、小流量气体混合配比装置。