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Sensirion 瑞士 多功能数字质量流量控制器
产品型号:SFC5500-50sccm
产品简介:

SFC5500‑50sccm 属于 SFC5500 系列多功能数字质量流量控制器,现货分销机型,面向中小微流量气体控制场景,兼顾性能与供货便捷性,适配工业设备、科研实验、分析仪器、部分半导体配套等,可满足多气体小流量精准管控需求。

详细介绍

Sensirion 瑞士 多功能数字质量流量控制器


产品定位

SFC5500‑50sccm 属于 SFC5500 系列多功能数字质量流量控制器,现货分销机型,面向中小微流量气体控制场景,兼顾性能与供货便捷性,适配工业设备、科研实验、分析仪器、部分半导体配套等,可满足多气体小流量精准管控需求。

核心技术和原理

核心采用CMOSens® MEMS 芯片集成技术,将传感单元、信号调理、模数转换集成在单颗硅芯片上。

测量基于微热量热式(热式)测量原理:芯片热绝缘薄膜集成加热元件、上下游热电堆温度传感器;气体流动时带走热量,上下游形成温度差,芯片采集温差信号换算气体质量流量;板载微处理器配合控制算法驱动内置调节阀完成闭环流量调控。芯片自带温度补偿,通道孔径大于传统毛细管式 MFC,降低颗粒物堵塞风险,传感器热质量小,响应速度快。


产品参数

  • 满量程流速:50 sccm(0.05 slm)
  • 准确度:0.2% FS or 2% SP
  • 支持校准气体:Air、O₂、N₂、Ar、CO₂、He、H₂、CH₄、N₂O
  • *大工作压力:5 bar
  • 流体连接器端口:Legris
  • 通讯接口:Device net、RS485
  • 电源电压:14‑26.4 V
  • 平均供电电流:75000 uA
  • *大供电电流:120000 uA
  • 外形尺寸 (长 × 宽 × 高):105 × 38.5 × 90.5 mm

产品优势与特点

  • 宽动态流量调控区间,单台器件覆盖多段传统 MFC 流量档位
  • 多气体出厂校准,切换兼容气体无需现场重新标定
  • 芯片级集成数字化信号处理,抗电磁干扰表现较好
  • 现货分销供货模式,选型采购周期可控,配套可更换流体接头
  • 不易产生零点漂移,使用周期内无需开展现场重校准
  • 直流通道结构,对含微颗粒、加湿工况耐受表现优于毛细管结构产品
  • 具备 Device net、RS485 数字总线接口,便于接入自动化设备控制系统

主要应用场景

半导体辅机工艺、镀膜设备气体供给、小型 CVD/PVD 实验装置、实验室气路配比、科研仪器气体控制、光学光伏制程气路、精细化工气体配比、分析仪器、燃料电池测试、工业化工小流量工艺、医疗分析设备、材料研发试验平台。