欢迎进入玉崎半导体(深圳)有限公司网站!

成为连接全球半导体资源
与国内终端需求的核心桥梁

全 国 服 务 电 话
13530227878

您的位置 : 首页 > 产品中心 > Sensirion 瑞士
产品分类导航
PRODUCT CENTER
MKS
MTL
Sensirion 瑞士 SFC5500‑2slm 质量流量控制器
产品型号:
产品简介:

SFC5500‑2slm 属于 SFC5500 系列多功能预配置型质量流量控制器,支持线上分销商现货采购,性能对标 SFC5400,采用标准化预配置方案,面向工业、分析仪器、医疗设备

详细介绍

Sensirion 瑞士 SFC5500‑2slm 质量流量控制器


产品定位

SFC5500‑2slm 属于 SFC5500 系列多功能预配置型质量流量控制器,支持线上分销商现货采购,性能对标 SFC5400,采用标准化预配置方案,面向工业、分析仪器、医疗设备

核心技术和原理

  • 核心技术:CMOSens® MEMS 单片集成传感技术,传感元件、信号放大、模数转换集成在单颗芯片内部,内置片上温度补偿单元。
  • 测量原理(微热式热式流量):芯片绝缘薄膜上布置加热元件,上下游对称布设温度传感器;气体流动带走热量,上下游产生温差,温差信号换算得到气体质量流量;配套内置闭环控制驱动电磁阀完成流量调节。
  • 器件运行过程漂移幅度低,使用阶段无需重新校准。

  • 产品参数

    • 满量程流速:2 slm
    • 准确度:0.08% FS or 0.8% SP
    • 校准气体:Air, O₂, N₂, Ar, CO₂, He, H₂, CH₄ and N₂O flow
    • *大工作压力:5 bar
    • 流体连接器端口:Legris
    • 通讯接口:Device net, RS485
    • 电源电压:14‑26.4 V
    • 外形尺寸(长 × 宽 × 高):105 × 38.5 × 90.5 mm

    产品优势与特点

    • 多气体出厂校准,单台器件可以覆盖多段传统 MFC 流量区间,动态控制区间宽广。
    • 接头配件可更换,Legris 快插接头,装配调试便捷。
    • 提供现货分销渠道,不需要长周期定制订货。
    • 响应速度快,重复表现稳定。
    • 数字总线通讯(RS485/DeviceNet),便于设备组网集成。
    • 同系列不同量程硬件结构通用,便于项目内型号替换。

    主要应用场景

    医疗设备气体配比、分析仪器气相气路控制、实验室气体配气系统、工业自动化工艺气控制、燃料电池测试设备、小型半导体工艺辅助气路、环境检测仪器。