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Sensirion 瑞士 SFC5460气体质量流量控制器
产品型号:
产品简介:

面向大批量 OEM 项目的通用型气体质量流量控制器,支持定制化配置,适合年度采购量较高的设备集成项目,主打可控的硬件配置与整机成本平衡

详细介绍

Sensirion 瑞士 SFC5460气体质量流量控制器


产品定位

面向大批量 OEM 项目的通用型气体质量流量控制器,支持定制化配置,适合年度采购量较高的设备集成项目,主打可控的硬件配置与整机成本平衡

核心技术和原理

  • 核心技术:CMOSens MEMS 单芯片集成技术,将 MEMS 流量传感单元、模数转换、信号调理、温度补偿电路集成在同一颗硅芯片上。
  • 测量原理:量热式(热传递)流量检测。芯片隔离膜片上布置加热元件,上下游配置热电堆;气体流动会改变上下游温度分布,芯片采集温度不对称信号换算气体质量流量;板载微处理器配合控制算法完成流量闭环调节。
  • 传感通道相比传统毛细管 MFC 通径更大,对颗粒、加湿气体耐受表现较好;膜片热质量小,传感器响应速度快,具备电磁扰动耐受能力

  • 产品参数

    • 满量程流速:0.05、0.1、0.2、0.5、1、2、5、10 slm
    • 准确度:0.08% FS or 0.8% SP
    • 校准支持气体:Air, H₂, O₂, He, Ar, CO₂, N₂
    • *大工作压力:5 bar
    • 流体连接器端口:Swagelok、VCR、VCO、W‑Seal、Downmount
    • 通讯接口:RS485
    • 电源电压:14‑26 V
    • 外形尺寸 (长 × 宽 × 高):101.1 × 24.4 × 91 mm

    产品优势与特点

    • 单芯片完成传感、信号转换、温度补偿,输出经过校准的数字信号,器件内部可存储多组气体校准参数,支持气体识别自检功能。
    • 流体接头可多选,适配不同设备管路安装需求。
    • 动态控制区间宽,信号更新速率快,建立时间短,流量复现表现稳定。
    • 金属阀体结构,适配 OEM 整机集成,硬件配置可按需调整。
    • RS485 数字总线接口,便于多台设备组网控制

    主要应用场景

    半导体工艺配套设备、分析仪器、镀膜 / 刻蚀设备、医疗设备、工业过程自动化、实验室气体配比装置、各类 OEM 气体控制整机设备