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Sensirion 瑞士 SFC6000D-5slm质量流量控制器
产品型号:
产品简介:

SFC6000D‑5slm 属于 SFC6000 系列流通版质量流量控制器,面向对成本较为关注的场景,属于新一代紧凑型 MFC;支持分销渠道现货采购,适合样机测试、中小批量设备集成;同系列还有 SFC6000‑OEM 可定制版本,适配大批量整机 OEM 项目。无阀版本为 SFM6000 系列质量流量计,硬件基底一致。

详细介绍

Sensirion 瑞士 SFC6000D-5slm质量流量控制器


产品定位

SFC6000D‑5slm 属于 SFC6000 系列流通版质量流量控制器,面向对成本较为关注的场景,属于新一代紧凑型 MFC;支持分销渠道现货采购,适合样机测试、中小批量设备集成;同系列还有 SFC6000‑OEM 可定制版本,适配大批量整机 OEM 项目。无阀版本为 SFM6000 系列质量流量计,硬件基底一致。

核心技术和原理

  • 核心技术:CMOSens® MEMS 单片集成技术,将传感单元、模数转换、信号处理、控制逻辑集成在单颗硅芯片内,电子器件数量少,整机集成度高。
  • 测量原理:热式量热(传热)测量原理。绝缘薄膜上集成加热元件,上下游布置两组热电堆;气体流动时会改变芯片上下游温度场分布,芯片采集温度不对称信号换算出气体质量流量,板载电路直接驱动内置调节阀完成闭环流量调控。
  • 气路通道相比传统毛细管旁路 MFC 通径更大,降低颗粒物堵塞风险,适配带微颗粒物、带湿度的气体工况。

  • 产品参数

    • 满量程流速:5 slm
    • 准确度:0.2% FS or 2% SP
    • 校准支持气体:Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂
    • *大工作压力:10 bar
    • 流体连接器端口:Push‑in 6mm,downmount 底部安装
    • 通讯接口:I²C、RS485
    • 电源电压:22.9‑25.9 V
    • 整机尺寸(长 × 宽 × 高):102 × 45 × 20 mm

    产品优势与特点

    • 整机小巧轻薄,便于设备小型化、便携设备集成;
    • 器件集成度高,电子元器件数量少,供应链表现稳定;
    • 器件本身漂移表现低,不需要现场重新校准;
    • 样品交付周期 2‑4 周,批量整机交付约 8 周,相比行业常规周期更短;
    • 支持分销渠道直接采购,便于前期样机评估;
    • 通道结构对颗粒物、潮湿气体耐受表现更好,降低堵塞概率;
    • 数字多气体校准,切换标定气体无需现场重新调校;
    • 配套评估套件 EK‑F5x 可快速完成上位机调试。

    主要应用场景

    • 半导体领域:FOUP 前开式晶圆盒吹扫保护、玻璃镀膜及加工工艺气路;
    • 分析仪器:气相色谱设备、生物反应器气体配比;
    • 医疗装备:麻醉设备、呼吸机、心肺转流设备、一氧化二氮设备;
    • 工业自动化:气体混合配比、腔体吹扫、小型工艺设备气路控制。