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Sensirion 瑞士 SFC6000D‑20slm质量流量控制器
产品型号:
产品简介:

SFC6000D‑20slm 属于 SFC6000D 流通版质量流量控制器,为新一代紧凑型 MFC,面向看重成本表现的项目,支持线上渠道采购,适合样机测试、批量设备集成;兼顾便携设备、半导体辅工艺、分析仪器、医疗设备、工业自动化场景,填补传统 MFC 成本偏高带来的应用空白。

详细介绍

Sensirion 瑞士 SFC6000D‑20slm质量流量控制器


产品定位

SFC6000D‑20slm 属于 SFC6000D 流通版质量流量控制器,为新一代紧凑型 MFC,面向看重成本表现的项目,支持线上渠道采购,适合样机测试、批量设备集成;兼顾便携设备、半导体辅工艺、分析仪器、医疗设备、工业自动化场景,填补传统 MFC 成本偏高带来的应用空白。

核心技术和原理


  • CMOSens® MEMS 芯片技术:传感单元与信号处理电路集成在单颗硅芯片内部,信号就地放大数字化,减少外部焊点带来的扰动影响,适合批量生产与小型化设计。
  • 热式质量流量测量原理:芯片薄膜上布置加热元件与上下游温度感应元件;气体流动带走热量,上下游形成温差,温差信号换算得到气体质量流量数值,不受气体压力、温度波动带来的间接干扰;设备具备低漂移特性,不需要现场再次标定。

  • 产品参数

    • 满量程流速:20 slm
    • 准确度:0.2% FS or 2% SP
    • 校准适配气体:Air, N₂, O₂, N₂O, Ar and CO₂ flow
    • *大工作压力:10 bar
    • 流体连接器端口:Push‑in 6mm, downmount
    • 接口:I²C, RS485
    • 电源电压:22.8‑25.2 V
    • 尺寸 (长 × 宽 × 高):102 x 45 x 20 mm

    产品优势与特点

    • 整机小巧轻量化,便于缩减整机设备体积与重量,适配便携装置;
    • 电子元器件数量少,供应链表现稳健;
    • 宽控制区间,支持 0.2%‑100% 满量程工作区间,重复性表现良好;
    • 低漂移特性,使用过程无需现场重新标定;
    • 流通型号可线上订购,样品交付周期 2‑4 周,标准货期约 8 周;
    • 支持多种数字通讯接口,OEM 版本额外增加模拟电压输出选项;
    • 支持多种常见非腐蚀性气体,接头形式可选推入式接头或者底部安装接口

    主要应用场景

    • 半导体领域:FOUP 前开式晶圆盒吹扫保护、玻璃镀膜及加工工艺气路;
    • 分析仪器:气相色谱设备、生物反应器气体配比;
    • 医疗装备:麻醉设备、呼吸机、心肺转流设备、一氧化二氮设备;
    • 工业自动化:气体混合配比、腔体吹扫、小型工艺设备气路控制。