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Sensirion 瑞士 SFC6000D-50slm质量流量控制器
产品型号:
产品简介:

属于 SFC6000 系列流通版(分销版本)质量流量控制器,主打较佳的成本表现,为轻量化、紧凑型设备提供气体质量流量控制方案;面向 OEM 设备、半导体辅助工艺、分析仪器、医疗设备、工业自动化场景

详细介绍

Sensirion 瑞士 SFC6000D-50slm质量流量控制器


产品定位

属于 SFC6000 系列流通版(分销版本)质量流量控制器,主打较佳的成本表现,为轻量化、紧凑型设备提供气体质量流量控制方案;面向 OEM 设备、半导体辅助工艺、分析仪器、医疗设备、工业自动化场景。

核心技术和原理


  • 核心技术:CMOSens® MEMS 芯片技术,将传感元件、信号处理、校准存储单元集成在单颗硅芯片上,片内完成温度补偿、线性化处理与校准数据存储,电子元器件数量少,整机集成度高。
  • 测量原理:热式质量流量测量原理,芯片膜片布置加热元件以及上下游对称温度传感器;气体流过带走热量,上下游形成温差,温差信号换算得到气体质量流量,直接测量气体分子流量,受温压波动影响小;整机具备低漂移特性,现场使用阶段无需重新校准

  • 产品参数

    • 满量程流速:50 slm
    • 准确度:0.2% FS or 2% SP
    • 校准适配气体:Air, N₂, O₂, N₂O, Ar, CO₂
    • *大工作压力:10 bar
    • 流体连接器端口:Push‑in 6mm,downmount
    • 通讯接口:I²C、RS485
    • 电源电压:22.8‑25.2 V
    • 外形尺寸 (长 × 宽 × 高):102 × 45 × 20 mm

    产品优势与特点

    • 整机小巧轻便,可缩减设备整体体积与重量,适配便携式设备;
    • 动态控制范围宽,响应速度快,稳定时间约 100ms;
    • 具备不错的重复性指标,低漂移,使用阶段无需现场重新校准;
    • SFC6000D 分销型号可通过渠道现货采购,样品交付周期短;
    • 电子元器件数量少,供应链稳定性好;
    • OEM 版本可做功能、接口定制;同平台有无阀版本 SFM6000 系列质量流量计可供选型;
    • 支持多种数字通讯,便于嵌入自动化系统集成

    主要应用场景

    • 半导体领域:FOUP 前开式晶圆盒吹扫保护、玻璃镀膜及加工工艺气路;
    • 分析仪器:气相色谱设备、生物反应器气体配比;
    • 医疗装备:麻醉设备、呼吸机、心肺转流设备、一氧化二氮设备;
    • 工业自动化:气体混合配比、腔体吹扫、小型工艺设备气路控制。