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Sensirion 瑞士 SFC6000‑OEM 质量流量控制器
产品型号:
产品简介:

高性价比可定制版本 OEM 质量流量控制器,面向大批量设备集成项目,适配需要小型化气体流量控制的整机设备开发。

详细介绍

Sensirion 瑞士 SFC6000‑OEM 质量流量控制器


产品定位

高性价比可定制版本 OEM 质量流量控制器,面向大批量设备集成项目,适配需要小型化气体流量控制的整机设备开发。

核心技术和原理


  • 核心技术:CMOSens® MEMS 单片集成传感技术,传感单元、信号调理、数字处理集成在单颗芯片上。
  • 测量原理:热式量热测量原理。绝缘薄膜中间布置加热元件,上下游对称布设温度传感器;气体流动会把热量带向下游传感器,上下游形成温差,温差信号换算得到气体质量流量;内置片上温度补偿单元抵消环境温度带来的影响;搭配内置电磁阀与闭环控制算法完成流量调节。

  • 产品参数

    • 满量程流速:2 slm、5 slm、20 slm、50 slm
    • 准确度:0.2% FS 或 2% SP
    • 校准适配气体:Air、N₂、O₂、N₂O、Ar、CO₂以及其他非腐蚀性气体
    • *大工作压力:10 bar
    • 流体连接器端口:Push‑in 6mm、downmount 底部安装
    • 通讯接口:Analog voltage(模拟电压)、I²C、RS485
    • 供电电压:22.8‑25.2 V
    • 外形尺寸(长 × 宽 × 高):102 × 45 × 20 mm

    产品优势与特点

    • 体积小巧轻薄,利于整机设备压缩空间,适合便携式设备集成;
    • 元器件数量少,整机集成度较高,供应链表现稳定;
    • 具备良好重复性、控制响应速度;工作过程漂移表现低,无需现场开展重新校准;
    • 同时支持模拟电压、I²C、RS485 多种接口,适配不同主控系统;
    • 支持多种非腐蚀性气体,OEM 版本可根据项目需求做配置调整;
    • 样品交付周期短,便于项目前期评估验证。

    主要应用场景

    • 半导体领域:FOUP 前开式晶圆盒吹扫保护、玻璃镀膜及加工工艺气路;
    • 分析仪器:气相色谱设备、生物反应器气体配比;
    • 医疗装备:麻醉设备、呼吸机、心肺转流设备、一氧化二氮设备;
    • 工业自动化:气体混合配比、腔体吹扫、小型工艺设备气路控制。