MS1200A 属于 MS 系列大抽速工艺型螺杆干式真空泵，面向重载量产产线开发，在螺杆结构上强化防腐与排粉能力，无油干式架构，支持大气压直至极限真空全压力区间不间断连续运行，多用于半导体、锂电、热处理大型产线的前级真空排气单元ULVAC SHOW...。
整机结构组成
1. 双螺杆转子总成：特殊型线螺杆转子，转子、气缸内壁喷涂氟陶瓷复合防腐涂层，转子之间、转子与缸体维持非接触间隙，强化排粉能力，降低卡泵故障风险。
2. 水冷夹套腔体：整机强制水冷结构，冷却水带走泵腔运行热量，抑制水汽、盐类物质在泵腔内部冷凝沉积。
3. 轴封氮气吹扫接口：吹扫气流量 0‑50SLM 可调，通入氮气稀释腐蚀性工艺气体，保护轴封与转子部件，延缓部件腐蚀损耗。
4. 本地控制单元：配置状态显示面板，具备运行监控、故障报警输出，支持对接产线 PLC，实现远程启停、信号交互ULVAC SHOW...。
5. 进出气法兰：进气 ISO‑F‑100 大口径法兰，排气 KF40 法兰，机身集成内置消音组件，降低排气噪音。
6. 吊环与重型减震底座，适配大型设备吊装就位，方便现场水平调平安装。
工作原理
电机驱动一对反向同步旋转的螺杆转子，转子运转过程中泵腔容积周期性变化，气体自进气口吸入，沿着螺杆轴向逐级压缩推送，由排气口排出泵体。
转子非接触运转，泵腔内部不使用润滑油，不会出现油雾返流污染工艺腔体。水冷腔体稳定泵体工作温度，减少可凝介质冷凝堆积；通入吹扫氮气，阻隔腐蚀性介质接触轴封部位，延缓部件损耗。设备可以直接从大气压启动，不需要额外粗抽泵，全压力区间能够不间断连续运行，适配工艺压力频繁波动的量产生产场景ULVAC SHOW...。
核心性能参数
*大抽速：980m³/h（50Hz）ULVAC SHOW...
极限到达压力：≤0.1Pa
极限真空运行功耗：3.1kW
电源规格：三相 50/60Hz，AC200‑240V 或者 AC380‑480V
冷却方式：强制水冷，*小冷却水流量 4.0L/min
吹扫气流量：0‑50SLM 连续可调
运行噪音：≤64dB (A)
整机重量：约 410kg
进气法兰：ISO‑F‑100，排气法兰：KF40
工作环境温度：7‑40℃
产品核心优势
1. 无油干式真空输出，不存在油品返流，不会污染腔体内部工件，满足洁净工艺生产要求。
2. 腔体、转子采用防腐涂层，耐受弱腐蚀气体、有机溶剂蒸汽；大间隙螺杆流道，硅粉、工艺粉尘可以顺利排出泵体，减少内部堆积，降低卡泵停机概率。
3. 全压力区间连续运行，大气压直接启动，工艺压力波动无需停机切换，缩短整体抽气周期，适配 24 小时不间断量产产线。
4. 水冷温控设计，处理水汽、溶剂蒸汽工况表现稳定，搭配氮气吹扫接口，拓展工艺兼容性。
5. 完备故障保护逻辑，过热、过载异常输出报警信号，方便接入产线自动化控制系统，实现设备状态监控。
6. 重型模块化整机结构，零部件拆装便捷，便于现场维护检修，既可以独立作为大流量中真空排气泵，也可作为分子泵、罗茨机组的前级泵配套使用。
典型应用场景
半导体 8‑12 英寸设备刻蚀、去胶、等离子清洗工艺前级排气；
锂电池大容量电芯烘烤、大型极片干燥产线、集中式注液脱泡系统真空排气；
大型真空烧结炉、渗碳热处理炉真空排气；
大型镀膜设备、冻干设备、工业真空干燥量产产线；
化工工艺中试设备，处理含有粉尘、溶剂蒸汽的中真空排气工况ULVAC SHOW...。
使用注意事项
强卤素等高浓度强腐蚀气体工况，必须配置足量氮气吹扫；
大量粉尘工况，进气前端需要增设粉尘过滤装置；
不可直接抽吸大量液态液体，液体进入泵腔会造成转子损伤；
冷却水流量、水温需要维持在规定范围，避免泵体过热；
按照周期检查吹扫气回路、水冷回路，定期开展内部保养。
