LS120A 属于 LS 系列中小抽速螺杆干式真空泵，分为 C 洁净型、L 轻工艺型两个版本，主打高速排气与低能耗，无油干式结构，可大气压直接启动，多用于中小腔体镀膜、负载锁腔、分子泵前级、轻水汽真空干燥工况，和 MS 系列对比，防腐等级偏低，侧重洁净与轻度工艺排气。
整机结构组成
1. 双螺杆转子总成：特殊型线非接触螺杆，C 款基础氟涂层；L 款做轻度防腐表面处理，转子与缸体保持间隙，无油无摩擦运转。
2. 散热冷却单元：C 型风冷散热；L 型支持风冷，也可接入外接水冷，*小冷却水流量 2.0L/min。
3. 轴封吹扫接口：C 型无标配吹扫；L 型配置 0‑50SLM 可调氮气吹扫接口，用于稀释水汽、轻度有机溶剂蒸汽。
4. 本地控制单元：状态监测面板，具备故障报警输出，支持对接产线 PLC，实现远程信号交互。
5. 进出气法兰：进气 KF50，支持水平、垂直两种安装；排气 KF40，机身集成内置消音组件，降低排气噪音。
6. 移动底座滚轮、调平脚，方便设备移位与现场水平校准。
工作原理
电机驱动一对反向同步旋转螺杆转子，泵腔容积周期性改变，气体由进气口吸入，沿螺杆轴向逐级压缩推送，从排气口排出。
转子之间、转子与缸体互不接触，泵腔内部不使用润滑油，杜绝油雾返流污染腔体工件。C 规格依靠 ECO‑SHOCK 节能技术，真空度升高后自动降低输出功耗，实现节能运行；L 规格通入氮气吹扫，保护轴封部件，处理少量水汽与挥发性溶剂。整机可直接从大气压启动，全压力区间连续运行，适配腔体频繁复压、抽气的工况ULVAC SHOW...。
核心性能参数
*大抽速：120m³/h（50Hz）
极限到达压力：≤0.6Pa
极限真空功耗：C 型 0.6kW
电源规格：三相 50/60Hz，AC200‑240V / AC380‑480V
冷却方式：C 型风冷；L 型风冷 / 可选水冷，*小冷却水流量 2.0L/min
吹扫气：C 型无；L 型 0‑50SLM 可调
*大水蒸气处理量：C 型 0.5kg/h；L 型 1.5kg/h
运行噪音：≤61dB (A)
整机重量：142kg
进气法兰：KF50；排气法兰：KF40
工作环境温度：7‑40℃
产品核心优势
1. 无油干式排气，无油返流，保障腔体工件洁净，适配对油品污染敏感的工艺。
2.ECO‑SHOCK 节能技术，高真空区间功耗大幅下降，相比同级别干泵，长期使用电费成本更低，大气压附近抽速表现**，缩短腔体抽气时间。
3. 双版本可选，C 型面向洁净氮气、空气排气；L 型支持少量水汽、弱挥发性溶剂，满足不同工艺需求。
4. 内置消音结构，整机噪音控制良好，适合车间、实验室环境。
5. 支持 PLC 信号对接，具备过热、过载故障报警，方便接入自动化设备，可独立作为中真空主泵，也可充当分子泵、罗茨机组的前级泵。
6. 整机紧凑带滚轮，安装布局灵活，适配设备集成改造。
典型应用场景
中小型溅射、蒸镀真空镀膜设备；
半导体负载锁腔 Load‑Lock 快速抽气；
涡轮分子泵配套前级排气；
FPD、光伏小型沉积工艺；
小型真空干燥、冷冻干燥（L 型）；
科研中试设备、材料实验真空腔体排气。
使用注意事项
该机型防腐能力弱于 MS 系列，不适合高浓度卤素、强酸碱、大量粉尘工况；
L 型处理水汽溶剂，必须开启氮气吹扫；
不可直接抽吸大量液态液体，液体进入泵腔会损坏螺杆部件；
粉尘工况前端必须增设粉尘过滤器；
水冷版本需要保证冷却水流量稳定；
按照周期检查吹扫气回路，定期开展保养维护。
