LS600A 属于 LS 系列中大型螺杆干式真空泵，分为 C 洁净型、L 轻工艺型两个版本，搭载 ECO‑SHOCK 节能技术，无油干式结构，支持大气压直接启动。对比 MS 系列，防腐与排粉尘能力偏弱，主打洁净制程、少量水汽工况，多用于量产镀膜设备、大尺寸 Load‑Lock 腔体、分子泵前级排气。
整机结构组成
1. 双螺杆转子总成：非接触特殊型线螺杆，C 款做基础表面处理；L 款做轻度防腐表面处理，转子与缸体保留运行间隙，无油无摩擦运转ULVAC SHOW...。
2. 水冷夹套腔体：整机强制水冷散热，冷却水带走泵腔热量，抑制水汽、可凝介质在泵腔内部凝结沉积。
3. 轴封吹扫接口：C 型无吹扫配置；L 型配备 0‑50SLM 可调氮气吹扫接口，稀释水汽、轻质溶剂蒸汽，保护轴封部件。
4. 本地控制单元：状态监测面板，具备过热、过载故障报警输出，支持对接产线 PLC，实现远程启停与信号交互。
5. 进出气法兰：进气 ISO‑F‑80 大口径法兰，排气 KF40 法兰，机身集成内置消音组件，降低排气噪音。
6. 重型底座带移动滚轮，支持水平调平，适配设备集成、车间移位安装。
工作原理
电机驱动一对反向同步旋转螺杆转子，泵腔内部容积发生周期性变化，气体从进气口吸入，沿着螺杆轴向逐级压缩推送，由排气口排出泵体。
转子之间、转子与缸体互不接触，泵腔内部不使用润滑油，杜绝油雾返流污染腔体工件。C 规格依靠 ECO‑SHOCK 节能技术，进入高真空区间后自动降低运行功耗，实现节能运行；L 规格通入氮气吹扫，减少水汽、挥发性介质在泵腔内部沉积。整机可以直接从大气压启动，全压力区间连续运行，适配腔体频繁复压抽气的量产工况ULVAC SHOW...。
核心性能参数
*大抽速：600m³/h（50Hz）
极限到达压力：≤0.1Pa
极限真空功耗：C 型 1.3kW；L 型 2.6kW
电源规格：三相 50/60Hz，AC200‑240V / AC380‑480V
冷却方式：水冷，*小冷却水流量 4.0L/min
吹扫气：C 型无；L 型 0‑50SLM 可调
*大水蒸气处理量：L 型 1.5kg/h
运行噪音：≤62dB (A)
整机重量：242kg
进气法兰：ISO‑F‑80；排气法兰：KF40
工作环境温度：7‑40℃
产品核心优势
1. 无油干式排气，不存在油品返流，保障腔体工件洁净，适配对油污染敏感的工艺制程。
2.ECO‑SHOCK 节能技术，高真空工况功耗显著下降，长期连续生产降低用电成本，大气压区间抽速表现**，缩短大腔体抽气周期，提升产线稼动率ULVAC SHOW...。
3. 双版本选型，C 型适配洁净氮气、空气排气；L 型可处理少量水汽、弱挥发性溶剂，覆盖两类工艺需求ULVAC Tech...。
4. 整机水冷控温，搭配内置消音结构，噪音表现良好，适合车间量产设备集成。
5. 完备故障保护，报警信号可对接产线自动化系统；模块化结构，易损件拆装便捷，现场维护方便。
6. 既可独立作为中真空主泵，也可充当分子泵、罗茨机组的前级泵，适配多种真空系统搭建。
典型应用场景
大型溅射镀膜、蒸镀真空镀膜量产设备；
半导体大尺寸 Load‑Lock 负载锁腔快速抽气；
涡轮分子泵配套大流量前级排气单元；
FPD、光伏大型沉积工艺；
大型真空干燥、冷冻干燥（L 型）；
中试设备、大尺寸材料实验真空腔体排气。
使用注意事项
防腐与排粉尘能力低于 MS 系列，不适合高浓度卤素、强酸碱、大量粉尘工况；
L 型处理水汽、溶剂介质，必须开启氮气吹扫；
不可直接抽吸大量液态液体，液体进入泵腔会造成螺杆部件损伤；
粉尘工况前端必须增设粉尘过滤器；
水冷工况要保证冷却水流量与水温稳定；
按照周期检查吹扫气、水冷回路，定期开展保养维护。