LS1200A 是大抽速、节能型螺杆式干式真空泵，属于行业主流洁净级干泵主力机型。设备全程无油运行、支持全压力区间连续作业，主打大气端大抽速、高真空低功耗、低噪音、运维成本低四大核心优势。机型分为 C 洁净型、L 轻工艺型两大版本，适配泛半导体、镀膜、光伏、精密工业量产工况，是大腔体快速抽气、分子泵机组配套前级的优选设备。
一、整机结构设计
LS1200A 采用成熟卧式非接触螺杆结构，整机模块化集成设计，拆装维护便捷，结构稳定性强，适配 24 小时连续量产运行。
-
双螺杆转子总成：采用特殊优化型线螺杆，转子与泵腔全程无接触运转，无摩擦、无机械磨损。C 洁净型为基础表面处理，仅适配纯空气、氮气等洁净排气工况；L 轻工艺型经过轻度防腐改性处理，可耐受水汽、弱溶剂蒸汽等轻度工艺介质，适配轻度复杂生产环境。
-
强制水冷腔体：整机搭载一体式水冷夹套结构，可精准稳定泵腔工作温度，有效抑制水汽、可凝性有机溶剂介质在泵内部冷凝、结垢、堆积，规避腔体积液、积粉引发的抽速衰减、真空度不稳等故障，保障设备长期稳定运行。
-
氮气吹扫系统：L 型标配 0‑50SLM 可调式轴封吹扫气装置，可实时稀释、隔离挥发性、轻度腐蚀性工艺介质，有效保护轴封、转子等核心精密部件，大幅降低损耗、延长设备使用寿命；C 型无吹扫配置，结构更精简，洁净工况下运行能耗与维护成本更低。
-
智能电控单元：集成一体化状态监测与故障自检模块，自带过热、过载、压力异常多重保护机制，可实时监控设备运行参数。支持 PLC 远程信号交互，能够无缝对接自动化产线控制系统，适配智能化量产生产需求。
-
静音排气与标准法兰接口：机身内置一体式消音结构，有效降低设备连续运行排气噪音，车间工况适配性强；配备大口径标准进气法兰与专用排气法兰，适配大流量抽气需求，设备集成、管路对接便捷。
二、核心工作原理
LS1200A 依托双螺杆容积式压缩原理实现真空排气，电机驱动一对反向同步运转的高精度螺杆转子，转子运转过程中泵腔容积发生周期性扩容与压缩。气体从进气口被持续吸入，沿螺杆轴向逐级输送、压缩，*终从排气口稳定排出。
设备全程无油润滑，转子与缸体、转子之间无物理接触，彻底杜绝润滑油雾返流污染真空腔体，满足高洁净工艺要求。搭配水冷温控系统，可稳定泵体工作状态，避免高温导致的介质裂解、部件老化；L 型配套的氮气吹扫系统，可对轴封关键位置形成气幕防护，隔绝有害介质侵入。设备支持大气压至极限真空全区间连续启停、不间断运行，适配腔体频繁复压、快速抽气的量产工况。
三、核心性能参数
-
*大抽速：980m³/h（50Hz）
-
极限真空度：≤0.1Pa
-
运行功耗：C 型洁净低耗、L 型工艺适配功耗可控
-
冷却方式：强制水冷，*小冷却水流量 4.0L/min
-
吹扫气规格：L 型 0‑50SLM 连续可调，C 型无吹扫
-
运行噪音：≤64dB (A)
-
进气法兰：ISO‑F‑100，排气法兰：KF40
-
整机重量：约 410kg
-
工作环境温度：7‑40℃
-
控制方式：本地触控 + 远程 PLC 联动
四、产品核心优势
-
高洁净无油真空：全程干式无油运行，无润滑油污染、无油雾返流，**适配半导体、光学镀膜等对腔体洁净度要求严苛的工艺，杜绝工件污染**。
-
节能高效量产适配：搭载进阶节能控制逻辑，大气端抽速快，可快速完成大腔体预抽，缩短生产节拍；高真空区间自动优化功耗，长期 24h 连续运行可有效降低能耗成本。
-
双机型精准适配工况：C 型主打**洁净、低运维成本，适配纯气体洁净工况；L 型支持水汽、弱溶剂介质处理，覆盖轻度工艺场景，选型适配性广。
-
运行稳定故障率低：非接触螺杆结构无磨损，搭配水冷控温、氮气防护、多重电气保护，抗工况波动能力强，量产稳定性优异。
-
集成性与维护性强：模块化整机设计，零部件拆装便捷，故障检修、配件更换高效省时；标准化接口，可独立作为主真空泵，也可配套分子泵、罗茨机组作为前级泵使用。
五、典型应用场景
-
泛半导体：8‑12 英寸晶圆刻蚀、去胶、等离子清洗设备前级排气，大尺寸 Load-Lock 腔体快速抽气
-
光学光电：大型溅射、蒸镀量产镀膜设备真空系统
-
新能源锂电：大型电芯烘烤、极片干燥、集中式真空脱泡系统
-
工业精密制造：大型真空烧结炉、热处理炉、工业冻干、大腔体真空干燥产线
-
**科研中试：大尺寸材料实验真空腔体、精密检测设备真空单元
六、使用与运维注意事项
-
本机为洁净 / 轻度工艺干泵，防腐、排粉能力有限，禁止直接抽吸高浓度卤素、强酸碱腐蚀性气体以及大量粉尘介质，复杂工况需前置过滤、净化装置。
-
L 型处理含水汽、挥发性溶剂介质时，必须开启氮气吹扫系统，避免介质沉积腐蚀轴封与转子；洁净工况使用 C 型可无需吹扫，降低运行成本。
-
严禁直接抽吸液态液体，液体进入泵腔会造成螺杆形变、卡泵、密封损坏等不可逆故障。
-
设备为水冷运行模式，需持续保障冷却水流量、水温稳定，杜绝断水、高温运行，防止泵体过热老化、真空性能衰减。
-
定期检查水冷回路、吹扫气回路、电气线路状态，按照工况负荷定期保养，及时清理管路杂质，保障设备长期稳定运行。
-
设备运行中避免剧烈震动、撞击，自动化联动工况需规范启停流程，杜绝异常启停、带压重载启动，延长设备使用寿命。
