GR90A 属于 GR 系列中型多段多级罗茨干式真空泵，在 HR 系列技术基础上做简化优化，无油干式结构，不具备高温均热腔体，水冷散热，能够大气压直接启动直排大气。设备擅长腔体频繁复压、反复破空的高负荷抽气工况，适配洁净空气、惰性气体场景，多用于中型 Load‑Lock 负载锁腔、镀膜设备、真空干燥，不适合强腐蚀、大量升华粉尘工艺。
整机结构
- 多段多级罗茨转子组件：多组三叶罗茨转子串联布置，转子与泵腔做基础钝化处理，转子之间非接触运转，无油无摩擦，依靠多级容积压缩实现真空获取。
- 水冷散热腔体：水冷夹套带走压缩过程产生的热量，控制整机温升，保障长时间连续运行稳定，无泵体加热控温机构。
- 轴封氮气吹扫接口：轴封部位配置吹扫气通路，标准氮气流量 5SLM，形成气幕防护，阻挡水汽、少量挥发性介质侵入轴承密封部位。
- 多电压兼容感应电机，支持选配防爆电机，适配不同厂房供电条件，运行振动低。
- 集成电控单元：具备过热、过载故障报警输出，支持对接产线 PLC，完成运行状态读取与远程信号交互。
- 进出气法兰：进气 VG80 法兰，排气 KF40 法兰；机身内置排气消音组件，整机配备底座脚轮，方便厂房移位与水平调平固定。
工作原理
电机驱动多组同步反向旋转三叶罗茨转子，形成多段串联压缩腔。转子旋转带动容腔容积周期性变化，气体由进气口吸入，依次经过各级罗茨泵腔完成容积式压缩，直接压缩至常压向外排出，无需额外配置前级真空泵。
转子全程非接触运转，泵腔内部不使用润滑油，从根源避免油雾返流污染工艺腔体。水冷系统持续带走压缩热量，抑制泵体温度过高；通入轴封吹扫氮气，阻隔微量水汽、轻质介质侵入密封组件。设备可以在大气压至极限真空全压力区间连续运行，适配腔体反复充气、抽真空的高频循环工况。
核心性能参数
*大抽速：112m³/h（50Hz），126m³/h（60Hz）
极限到达压力：≤5Pa
电机功率：3.7kW
电源规格：三相 50/60Hz，AC200‑240V / AC380‑460V
冷却方式：水冷，*小冷却水流量 5.0L/min
轴封吹扫气：标准 5SLM 高纯氮气
进气法兰：VG80，排气法兰：KF40
整机重量：188kg
工作环境温度：7‑40℃
产品核心优势
1. 无油干式排气，泵腔无润滑油介入，不会产生油雾返流，保障腔体、工件洁净。
2. 多级罗茨直排大气，不用搭配前级泵，简化整套真空系统配置，减少设备数量。
3. 高压区间抽气性能优异，针对 Load‑Lock 腔体频繁破空切换工况，缩短抽气节拍，提升设备稼动率。
4. 水冷散热结构，整机温升可控，振动噪音表现稳定，支持 24 小时不间断量产运行。
5. 轴封氮气吹扫设计，可以抵御少量水汽侵入；电机多电压兼容，可选择防爆配置，适配多样化厂房条件。
6. 具备完整报警输出，支持产线 PLC 联动；模块化结构，零部件拆装便捷，既可以独立作为主泵，也可充当分子泵、罗茨机组的前级泵。
典型应用场景
半导体、光电设备中型 Load‑Lock 负载锁腔排气；
中型溅射、蒸镀镀膜设备真空系统；
涡轮分子泵配套前级排气单元；
中型真空干燥、物料真空脱泡、罐体气体置换；
科研实验室洁净真空腔体、材料测试平台；
新能源行业洁净工况物料脱气工序。
使用注意事项
本机没有高温防腐腔体，仅适用于空气、氮气等洁净惰性气体，禁止处理卤素、强腐蚀气体以及大量升华粉尘介质；
仅耐受微量水汽，存在水汽工况必须开启轴封氮气吹扫；
严禁直接抽吸大量液态液体，液体进入泵腔会造成转子不可逆损伤；
水冷回路必须保障冷却水流量、压力稳定，防止泵体过热；
粉尘工况前端必须加装过滤装置；
按照工艺负荷定期检查吹扫气、水冷回路，开展常规保养维护。
