GR60A 属于 GR 系列小型通用型多段多级罗茨干式真空泵，依托多级罗茨容积压缩架构，无油干式设计，水冷散热，可直接从大气压启动直排大气。该机型没有 HR 系列的高温均热腔体，面向洁净空气、惰性气体工况，擅长腔体频繁复压、反复破空的高负荷抽气，多用于 Load‑Lock 负载锁腔、镀膜设备、真空干燥、分子泵前级排气，不适合强腐蚀、大量升华粉尘工艺制程。
整机结构
- 多段多级罗茨转子组件：多组三叶罗茨转子串联排布，转子与泵腔做基础钝化处理，转子之间非接触运转，无油无摩擦，依靠多级容积压缩实现真空获取。
- 水冷散热腔体：水冷夹套带走泵体压缩产生热量，控制整机温升，保障连续运转稳定性，无内置加热控温机构。
- 轴封氮气吹扫接口：轴封位置配置吹扫气接口，标准氮气流量 5SLM，形成气幕防护，阻挡水汽、微量挥发性介质侵入轴承密封部位。
- 感应驱动电机：多电压兼容感应电机，可选配防爆电机，适配不同厂房供电条件，运行振动低。
- 集成电控单元：具备过热、过载故障报警输出，支持对接产线 PLC，实现运行状态监控与远程信号交互。
- 进出气法兰：进气 VG50 法兰，排气 KF40 法兰；机身配置内置消音组件，整机带底座脚轮，方便移位与水平调平安装。
工作原理
电机驱动多组同步反向旋转的三叶罗茨转子，泵腔形成多段串联压缩腔。转子旋转过程中容腔容积周期性变化，气体从进气口吸入，逐级经过各段罗茨腔完成容积式压缩，直接压缩至常压向外排出，不需要额外配置前级真空泵。
转子运转全程互不接触，泵腔内部不使用润滑油，从根源杜绝油雾返流污染工艺腔体。水冷系统持续带走压缩热量，避免泵体过热；轴封通入吹扫氮气，阻隔少量水汽、轻质介质侵入密封组件。设备支持大气压至极限真空全压力区间连续运行，适配腔体反复充气、抽真空的高频切换工况。
核心性能参数
*大抽速：62m³/h（50Hz），80m³/h（60Hz）
极限到达压力：≤5Pa
电机功率：2.2kW
电源规格：三相 50/60Hz，AC200‑240V / AC380‑460V
冷却方式：水冷，*小冷却水流量 5.0L/min
轴封吹扫气：标准 5SLM 高纯氮气
进气法兰：VG50，排气法兰：KF40
整机重量：128kg
工作环境温度：7‑40℃
产品核心优势
1. 无油干式排气，无润滑油介入，不会产生油雾返流，保障腔体与工件洁净。
2. 多级罗茨直排大气，无需搭配前级泵，简化真空系统配置，减少设备数量。
3. 对频繁破空、高低压反复切换工况适应性强，负载锁腔快速抽气场景可以缩短抽气节拍，提升设备稼动率。
4. 水冷散热结构，整机温升可控，振动噪音表现良好，支持长时间不间断连续运行。
5. 轴封氮气吹扫设计，可抵御少量水汽侵入，拓展使用边界；电机支持多电压，可选防爆配置，适配多样化厂房条件。
6. 具备完备报警输出，支持产线 PLC 联动；模块化结构，拆装维护便捷，既可独立作为主泵，也可充当分子泵、罗茨机组的前级泵。
典型应用场景
半导体、光电设备 Load‑Lock 负载锁腔排气；
中小型溅射、蒸镀镀膜设备真空系统；
涡轮分子泵配套前级排气单元；
真空干燥、物料真空脱泡、真空气体置换；
科研实验室洁净真空腔体、材料测试平台；
新能源洁净工况物料脱气工序。
使用注意事项
本机无高温防腐腔体，仅适配空气、氮气等洁净惰性气体，禁止处理卤素、强腐蚀气体、大量升华粉尘；
仅可耐受微量水汽，存在水汽工况必须开启轴封氮气吹扫；
不可直接抽吸大量液态液体，液体进入泵腔会造成转子不可逆损伤；
水冷回路需要保证冷却水流量、压力稳定，防止泵体过热；
粉尘工况前端必须增设过滤装置；
按照工况负荷定期检查吹扫气、水冷回路，开展常规保养维护。
