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ULVAC 爱发科 CR60B‑T 风冷多级罗茨干式真空泵技术文章

CR60B‑T 属于 CR‑B 系列三相供电空冷多级罗茨干式真空泵,和 CR60B‑S 外形、抽速、接口完全一致,采用三相工业供电,极限真空性能更高,强制风冷散热,无需冷却水系统,也无需轴封氮气供给。该机型主打中等抽速、高极限真空,适配洁净空气、惰性气体、微量水蒸气工况,面向对真空度有更高要求的中小型量产设备,多用于镀膜、Load‑Lock 腔体、真空干燥、分析仪器粗抽,不适合强腐蚀、大量升华粉尘工艺制程。

整机结构

- 多级罗茨转子组件:多组三叶罗茨转子串联排布,转子与泵腔做基础钝化处理,转子之间非接触运转,泵腔无油无摩擦;齿轮、轴承润滑仓独立密封隔离,润滑油封闭在齿轮箱内,不会窜入真空侧造成工件污染。 - 一体式空冷散热结构:配置散热风道与散热风扇,依靠空气对流带走压缩产生热量,省去水冷管路、冷却水塔配套,降低厂房基建投入。 - 可调气镇机构:配备气镇接口,通入干燥空气稀释泵腔内水蒸气,*大水蒸气处理量 500g/h。 ‑DC 屏蔽密封电机:三相 200V 永磁 DC 屏蔽电机,密封性优异,运行振动低,极限真空工况具备节能特性。 - 集成电控单元:具备过热、过载故障报警输出,支持端子信号对接产线 PLC,实现设备状态监控与联锁启停。 ‑进出气法兰:进气 KF40,排气 KF40;机身内置排气消音组件,整机底部配置万向脚轮,设备移位、现场摆放灵活便捷。

工作原理

电机驱动多组同步反向旋转三叶罗茨转子,形成多段串联压缩腔。转子旋转带动容腔容积周期性变化,气体由进气口吸入,依次经过各级罗茨泵腔完成容积式压缩,直接压缩至常压向外排出,无需额外配置前级真空泵。

转子全程无接触运转,泵腔内部不使用润滑油,从根源杜绝油雾返流污染工艺腔体。整机依靠风冷风道带走压缩热量,控制泵体温升;处理水汽工况时开启气镇机构,混入干燥空气降低水蒸气分压,避免水汽在泵腔内部凝结。设备支持大气压至极限真空全压力区间运行,适配中型腔体反复抽气、复压循环工况。相比 CR60B‑S,转子装配间隙优化,可实现更高的极限真空输出。

核心性能参数

*大抽速:55m³/h(50Hz,920L/min) 极限到达压力:无气镇≤0.5Pa,开启气镇≤1.0Pa 电机功率:1.5kW,极限真空稳态功耗 0.9kW 电源规格:三相 AC200‑240V,50/60Hz 冷却方式:强制空冷,无需冷却水 气镇机构:内置可调气镇,*大水蒸气处理量 500g/h 进气法兰:KF40,排气法兰:KF40 整机重量:48kg 工作环境温度:7‑40℃

产品核心优势

1. 无油干式排气,泵腔侧无润滑油介入,不会产生油雾返流,保障腔体与工件洁净,可替代油旋片泵用于洁净要求较高的量产场景。 2. 空冷免水冷设计,无需冷却水、无需轴封氮气,减少配套设备与耗材投入,水源受限厂房也可便捷部署。 3. 多级罗茨直排大气,不用搭配前级泵,简化中小型真空系统配置;三相供电版本极限真空优于同系列单相 CR60B‑S,适配对真空度指标更高的工艺。 4. 整机结构紧凑,带移动脚轮,摆放移位灵活,便于设备机架集成。 5. 标配气镇功能,可应对微量水汽工况,拓展真空干燥类工艺使用边界。 6. 具备故障报警输出,支持 PLC 信号交互;模块化结构维护简单,既可以独立作为主泵,也可充当分子泵的前级泵。

典型应用场景

中小型溅射、蒸镀真空镀膜量产设备; 中型 Load‑Lock 负载锁腔排气; 真空干燥、物料脱气、罐体气体置换; 氦检漏设备粗抽单元; 科研实验室中型真空腔体、试样热处理炉; 新能源行业洁净工况物料脱气工序; 对极限真空指标有要求的中小型真空工艺。

使用注意事项

本机无高温防腐结构,仅适用于空气、氮气等洁净惰性气体,禁止处理卤素、强腐蚀气体、大量升华粉尘介质; 水汽工况必须开启气镇机构,不可处理大流量水蒸气; 严禁直接抽吸大量液态液体,液体进入泵腔会造成转子不可逆损伤; 风冷散热风扇需要定期清理灰尘,防止风道堵塞造成泵体过热; 进气前端存在粉尘风险时必须加装过滤装置; 严格匹配三相供电,不可接入单相电源;齿轮箱润滑油按照工况负荷定期更换,定期检查电气、气镇通路,开展常规保养维护。