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ULVAC 爱发科 CR300B 风冷多级罗茨干式真空泵技术文章

CR300B 是 CR‑B 系列大抽速旗舰款空冷多级罗茨干式真空泵,采用多级罗茨串联无油干式架构,整机强制风冷散热,无需冷却水系统,也不需要轴封氮气供给,三相工业供电。该机型拥有大抽速与高极限真空,适配洁净空气、惰性气体以及微量水蒸气工况,面向中型量产产线,多用于大型 Load‑Lock 腔体、中型镀膜产线、批量真空干燥,不适合强腐蚀、大量升华粉尘工艺制程。

整机结构

- 多级罗茨转子组件:多组三叶罗茨转子串联排布,转子与泵腔做基础钝化处理,转子之间非接触运转,泵腔无油无摩擦;齿轮、轴承润滑仓独立密封隔离,润滑油封闭在齿轮箱内部,不会窜入真空侧污染工件。 - 一体式空冷散热结构:配置大流量散热风道与散热风扇,依靠空气对流带走压缩产生的热量,省去水冷管路、冷却水塔配套,降低厂房基建投入。 - 可调气镇机构:配备气镇接口,通入干燥空气稀释泵腔内水蒸气,处理微量水汽,*大水蒸气处理量 800g/h。 ‑DC 屏蔽密封电机:三相 200V 永磁 DC 屏蔽电机,密封性优异,运行振动低,高真空区间具备节能运行特性。 - 集成电控单元:具备过热、过载故障报警输出,支持端子信号对接产线 PLC,实现设备状态监控与联锁启停。 ‑进出气法兰:进气 KF50,排气 KF50;机身内置排气消音组件,整机配置重型底座与万向脚轮,设备移位、现场调平安装便捷。

工作原理

电机驱动多组同步反向旋转三叶罗茨转子,形成多段串联压缩腔。转子旋转带动容腔容积周期性变化,气体由进气口吸入,依次经过各级罗茨泵腔完成容积式压缩,直接压缩至常压向外排出,无需额外配置前级真空泵。

转子全程无接触运转,泵腔内部不使用润滑油,从根源杜绝油雾返流污染工艺腔体。整机依靠风冷风道带走压缩热量,控制泵体温升;处理水汽工况时开启气镇机构,混入干燥空气降低水蒸气分压,避免水汽在泵腔内部凝结。设备支持大气压至极限真空全压力区间运行,适配大型腔体反复抽气、复压循环的量产工况。

核心性能参数

*大抽速:300m³/h(50Hz,5000L/min) 极限到达压力:无气镇≤0.5Pa,开启气镇≤1.0Pa 电机功率:3.0kW 电源规格:三相 AC200‑240V,50/60Hz 冷却方式:强制空冷,无需冷却水 气镇机构:内置可调气镇,*大水蒸气处理量 800g/h 进气法兰:KF50,排气法兰:KF50 整机重量:100kg 工作环境温度:7‑40℃

产品核心优势

1. 无油干式排气,泵腔侧无润滑油介入,不会产生油雾返流,保障腔体与工件洁净,满足量产工艺洁净度需求。 2. 空冷免水冷设计,无需冷却水、无需轴封氮气,减少配套设备与耗材投入,水源条件受限厂房同样可以部署。 3. 大抽速输出,多级罗茨直排大气,不用搭配前级泵,简化中型真空系统配置;极限真空指标优异,兼顾大流量抽气与高真空输出。 4. 整机底座结构稳固,带移动脚轮,移位摆放灵活,适配产线设备集成。 5. 标配气镇功能,可应对微量水汽工况,拓展真空干燥类工艺使用边界。 6. 具备故障报警输出,支持 PLC 信号交互;模块化结构维护简单,既可以独立作为主泵,也可充当大流量分子泵机组的前级泵。

典型应用场景

中型溅射、蒸镀连续真空镀膜产线; 大型 Load‑Lock 负载锁腔排气; 批量真空干燥、物料脱气、大型罐体气体置换; 氦检漏设备大流量粗抽单元; 中试平台大型真空腔体、热处理炉; 新能源行业洁净工况大批量物料脱气工序。

使用注意事项

本机无高温防腐结构,仅适用于空气、氮气等洁净惰性气体,禁止处理卤素、强腐蚀气体、大量升华粉尘介质; 水汽工况必须开启气镇机构,不可处理大流量水蒸气; 严禁直接抽吸大量液态液体,液体进入泵腔会造成转子不可逆损伤; 风冷散热风扇需要定期清理灰尘,防止风道堵塞造成泵体过热; 进气前端存在粉尘风险时必须加装过滤装置; 严格匹配三相供电;齿轮箱润滑油按照工况负荷定期更换,定期检查电气、气镇通路,开展常规保养维护。